X-ray熒光膜厚測(cè)試儀
X-ray熒光膜厚測(cè)試儀:無(wú)微不至的測(cè)量度與快速性能
在現(xiàn)代科技飛速發(fā)展的時(shí)代,各行各業(yè)都離不開(kāi)的技術(shù)設(shè)備。而在材料科學(xué)域,特別是在薄膜技術(shù)研究中,X-ray熒光膜厚測(cè)試儀無(wú)疑是一項(xiàng)令人難以忽視的重要工具。它不僅可以實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜厚度的測(cè)量,還能提供更為的表征結(jié)果。本文將詳細(xì)介紹X-ray熒光膜厚測(cè)試儀的原理、應(yīng)用和優(yōu)勢(shì)。
先,什么是X-ray熒光膜厚測(cè)試儀?它是一種基于X射線熒光原理的膜厚測(cè)量?jī)x器。其工作原理是通過(guò)X射線束照射樣品,當(dāng)X射線穿過(guò)樣品時(shí),樣品中的原子會(huì)發(fā)生熒光輻射。通過(guò)測(cè)量熒光強(qiáng)度或峰位來(lái)計(jì)算出樣品的厚度。X-ray熒光膜厚測(cè)試儀具備高分辨率、高精度和非破壞性的特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、材料等域。
X熒光金無(wú)損鍍層測(cè)厚儀特點(diǎn)特點(diǎn)
1.上照式
2.高分辨率探測(cè)器
3.鼠標(biāo)定位測(cè)試點(diǎn)
4.測(cè)試組件可升降
5.可視化操作
6良好的射線屛蔽
7.高格度移動(dòng)平臺(tái)
8.自動(dòng)定位高度
9.超大樣品腔
10 .小孔準(zhǔn)直器
11.自動(dòng)尋找光斑
12.測(cè)試防護(hù)
技術(shù)指標(biāo)
X熒光金無(wú)損鍍層測(cè)厚儀型號(hào):Thick 800A
元素分析范圍從硫(S)到鈾(U)。
同時(shí)可以分析30種以上元素,五層鍍層。
分析含量一般為ppm到99.9% 。
鍍層厚度一般在50μm以內(nèi)(每種材料有所不同)
任意多個(gè)可選擇的分析和識(shí)別模型。
相互立的基體效應(yīng)校正模型。
多變量非線性回收程序
度適應(yīng)范圍為15℃至30℃。
電源: 交流220V±5V, 建議配置交流凈化穩(wěn)壓電源。
外觀尺寸: 576(W)×495(D)×545(H) mm
樣品室尺寸:500(W)×350(D)×140(H) mm
重量:90kg
鍍層厚度檢測(cè)儀產(chǎn)品特點(diǎn)
樣品處理方法簡(jiǎn)單或無(wú)處理
可快速對(duì)樣品做定性分析
對(duì)樣品可做半定量或準(zhǔn)定量分析
譜線峰背比高,分析靈敏度高
不破壞試樣,無(wú)損分析
試樣形態(tài)多樣化(固體、液體、粉末等)
設(shè)備、維修、維護(hù)簡(jiǎn)單
X-ray熒光膜厚測(cè)試儀的應(yīng)用非常廣泛。例如,在半導(dǎo)體行業(yè),薄膜技術(shù)作為制造工藝的關(guān)鍵環(huán)節(jié),膜厚測(cè)試是確保產(chǎn)品質(zhì)量的重要步驟。通過(guò)使用X-ray熒光膜厚測(cè)試儀,可以測(cè)量各種功能膜層的厚度,幫助工程師實(shí)時(shí)監(jiān)控制程誤差,并及時(shí)調(diào)整工藝參數(shù),以產(chǎn)品的一致性和穩(wěn)定性。此外,在光電子材料研究中,也需要對(duì)不同材料的膜層進(jìn)行測(cè)試,以評(píng)估其光學(xué)性能和物理性質(zhì),進(jìn)而指導(dǎo)材料的選用和工藝的優(yōu)化。
X-ray熒光膜厚測(cè)試儀相比傳統(tǒng)的測(cè)量方法具有諸多優(yōu)勢(shì)。先,X-ray熒光膜厚測(cè)試儀的測(cè)試速度快,可以在短時(shí)間內(nèi)完成對(duì)大量樣品的測(cè)試,提高測(cè)試效率。其次,該儀器具備高的測(cè)量精度和穩(wěn)定性,能夠滿足對(duì)超薄膜、厚膜、多層膜等各種樣品的測(cè)量要求。第三,X-ray熒光膜厚測(cè)試儀的測(cè)量結(jié)果具備高度性和重復(fù)性,能夠反映材料的薄膜厚度分布情況。后,該儀器還具備友好的操作界面和數(shù)據(jù)處理軟件,使得測(cè)試操作更加簡(jiǎn)便和直觀。
綜上所述,X-ray熒光膜厚測(cè)試儀是一項(xiàng)在材料科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的重要工具。其高精度、率以及的測(cè)量能力,確保了薄膜技術(shù)的性和穩(wěn)定性,并為各行各業(yè)的發(fā)展提供有力支持。無(wú)論是在半導(dǎo)體制造、光電子材料研究還是其他材料科學(xué)域,X-ray熒光膜厚測(cè)試儀必將發(fā)揮著不可替代的作用。
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