薄膜應(yīng)力測(cè)試儀,又名薄膜殘余應(yīng)力測(cè)試儀或薄膜應(yīng)力儀,是專門用于測(cè)試和研究薄膜材料和薄膜制備工藝的必不可少的工具。薄膜中應(yīng)力的大小和分布對(duì)薄膜的結(jié)構(gòu)和性質(zhì)有重要的影響, 可導(dǎo)致薄膜的光、電、磁、機(jī)械性能改變. 例如, 薄膜中的應(yīng)力是導(dǎo)致膜開裂或與基體剝離的主要因素, 薄膜中存在的殘余應(yīng)力很多情況下影響mems 器件結(jié)構(gòu)的特性, 甚至嚴(yán)重劣化器件的性能, 薄膜的內(nèi)應(yīng)力對(duì)薄膜電子器件和薄膜傳感器的性能有很大的影響.因此, 薄膜應(yīng)力研究在薄膜基礎(chǔ)理論和應(yīng)用研究中起到重要的作用, 薄膜應(yīng)力的測(cè)量備受關(guān)注。再例如在硬質(zhì)薄膜領(lǐng)域,金屬氮化物、氧化物、碳化物等硬質(zhì)薄膜因具有優(yōu)越的耐磨、耐腐蝕等特性,被廣泛應(yīng)用于金屬材料的防護(hù).硬質(zhì)薄膜的主要制備方法包括物理氣相沉積和化學(xué)氣相沉積技術(shù).研究發(fā)現(xiàn),沉積態(tài)硬質(zhì)薄膜中存在較大的殘余應(yīng)力,而且沿層深分布不均勻;該殘余應(yīng)力對(duì)硬質(zhì)薄膜一基體系統(tǒng)的性能影響很大-lj_精確地測(cè)量硬質(zhì)薄膜的殘余應(yīng)力,系統(tǒng)研究它與沉積工藝的關(guān)系,對(duì)優(yōu)化硬質(zhì)薄膜基體系統(tǒng)的性能具有重要的意義.
更新時(shí)間:2025-06-21