s mart的重量約只有s neox的一半(6kg),加上緊湊的外觀使的它在安裝上有更多選擇,例如可以直接在生產(chǎn)在線安裝做分析等。一般來說,在生產(chǎn)的環(huán)境中通常都會有震動(dòng)或有害物質(zhì)污染等因素而不適合放置量測儀器,但s mart在開發(fā)時(shí)已經(jīng)考慮這些因素,一體成形的設(shè)計(jì)使得它能承受外部污染或震動(dòng)影響。
可直接用于生產(chǎn)的三維光學(xué)輪廓儀系統(tǒng)。zegage™ pro 和 zegage™ pro hr 三維光學(xué)輪廓儀可對多種類型表面的微米和納米特征進(jìn)行非接觸式測量和表征,實(shí)現(xiàn)制造環(huán)境中的質(zhì)量控制和過程監(jiān)控。
contourx-500 光學(xué)輪廓儀是全球功能最**的自動(dòng)化臺式系統(tǒng),可快速完成非接觸式三維表面計(jì)量。contourx-500 具有**的 z 軸分辨率和準(zhǔn)確度,并具備布魯克落地式白光干涉(wli)儀器廣受業(yè)界認(rèn)可的所有優(yōu)勢,而占地面積更小。
kosaka et200基于 windows xp操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析,包括半導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、mems、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。et200 能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。