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we2102系列 8英寸槽式清洗設備，該平臺工藝區(qū)為 12 吋先進槽式清洗設備的拓展，具備優(yōu)異的工藝效果。

elede® 380系列 芯片刻蝕機，先進的等離子體發(fā)生裝置，適用多種材料刻蝕，工藝窗口寬。

hse m200主要用于4/6/8英寸深硅干法刻蝕工藝?？梢耘渲檬謩蛹白詣觽鬏斚到y(tǒng)。產品配置高密度雙立體等離子體源，中心邊緣進氣，快速氣體切換，低頻脈沖下電系統(tǒng)，可以實現(xiàn)高速、高深寬比、高均勻性及小的側壁粗糙度。hse p300主要用于12英寸硅刻蝕。采用cluster結構布局，能夠減小占地，提升產能。系統(tǒng)主要由傳輸模塊、工藝模塊、灰區(qū)部件、電源柜等組成?？蓪崿F(xiàn)自動化地上下料及自動工藝。

nmc 612g 12英寸金屬刻蝕機，可用于鋁、硅，氧化物、鉬、氧化銦錫等多種材料刻蝕。

pcd3000bm 是高功率因數線性恒流高壓 led 驅動芯片，應用于 led 照明域。該芯片通過獨特的恒流控制利技術，實現(xiàn)恒流精度小于± 5%，輸出電流可由外接電阻rcs 調節(jié)，芯片具有高功率因數和低諧波失真。