高性能fib-sem系統(tǒng) ethos nx5000采用日立高新的核心技術(shù)--全球先的高亮度冷場(chǎng)發(fā)射電子槍及新研發(fā)的電磁復(fù)合透鏡,不但可以在低加速電壓下實(shí)現(xiàn)高分辨觀察,還可以在fib加工時(shí)實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)觀察。sem鏡筒內(nèi)標(biāo)配3個(gè)探測(cè)器,可同時(shí)觀察到二次電子信號(hào)的形貌像以及背散射電子信號(hào)的成分襯度像;可非常方便的幫助fib找尋到納米尺度的目標(biāo)物,對(duì)其觀察以及加工分析。
更新時(shí)間:2025-08-22