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sps 2600-hp，sps 2800-hp和sps 12000-hp系列系統(tǒng)是microxact的半自動(dòng)探針臺(tái)，設(shè)計(jì)靈活，易于使用，可用于高效設(shè)備表征，晶圓級(jí)可靠性測(cè)試和故障分析。這些半自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于支持最多200mm晶圓的手動(dòng)和半自動(dòng)探測(cè)。

隨著半導(dǎo)體變得越來越小和越來越復(fù)雜，有必要更密切地監(jiān)控和控制生產(chǎn)，特別是在該過程的更上游。使用microxact的半自動(dòng)探針臺(tái)進(jìn)行的晶圓級(jí)可靠性測(cè)試通過一系列壓力測(cè)試收集數(shù)據(jù)，以識(shí)別可能影響器件長(zhǎng)期可靠性的不規(guī)則性。盡管并非總是需要，但在晶片級(jí)可靠性測(cè)試之后可以進(jìn)行進(jìn)一步的和廣泛的故障分析。

sps-1000，sps-2000和sps-2200系統(tǒng)是microxact首要的手動(dòng)探針臺(tái)，設(shè)計(jì)靈活且易于使用。這些手動(dòng)探針系統(tǒng)的高性能和經(jīng)濟(jì)性使它們屬于自己的一類。憑借高達(dá)200mm的晶圓功能，dc或rf探頭和可選的熱卡盤以及各種屏蔽選項(xiàng)，我們的探針臺(tái)可用于廣泛的應(yīng)用，例如故障分析，可靠性測(cè)試，iv / cv測(cè)試，低目前的測(cè)試，微波和射頻表征等等。