產(chǎn)品介紹
P-III的表面粒子檢測器系列通過以下技術(shù)實現(xiàn)電子半導(dǎo)體行業(yè)表面污染的量化監(jiān)測和控制:
核心技術(shù)原理
界面顆粒再懸浮技術(shù)?:采用界面技術(shù),通過物理或氣流方式將附著在關(guān)鍵
表面的顆粒重新懸浮,便于后續(xù)檢測。
高精度光學(xué)檢測:基于激光光學(xué)傳感器和光散射原理,實時捕獲懸浮粒子的散
射光信號,實現(xiàn)單個粒子尺寸的精確分析。
關(guān)鍵性能指標(biāo)
分辨率達(dá)0.1微米,支持納米級顆粒檢測;
配備靜態(tài)采樣模式,提升測量精度和穩(wěn)定性;符合ISO-14644-9表面粒子控制標(biāo)準(zhǔn),
滿足半導(dǎo)體制造中對潔凈度的嚴(yán)苛要求
行業(yè)應(yīng)用優(yōu)勢
減少50%以上的自凈時間及顆粒數(shù),縮短PM周期,提升制造效率;
通過實時監(jiān)測表面污染,降低因顆粒導(dǎo)致的良率損失和可靠性風(fēng)險;
適用于晶圓、光學(xué)元件、精密電路板等對潔凈度敏感的生產(chǎn)環(huán)節(jié)。
系統(tǒng)集成設(shè)計
支持USB數(shù)據(jù)導(dǎo)出和軟件升級,便于與工廠智能管理系統(tǒng)對接;
采用雙電池?zé)岵灏卧O(shè)計,適應(yīng)連續(xù)生產(chǎn)環(huán)境的需求。
該系列設(shè)備通過量化表面污染數(shù)據(jù),為半導(dǎo)體制造中的過程控制提供標(biāo)準(zhǔn)化依據(jù),從而優(yōu)化生產(chǎn)良率和產(chǎn)品可靠性。
傳感器:第七代雙激光窄光檢測器,壽命>200000次
產(chǎn)品特點
智能化設(shè)計與操作體驗
7英寸高分辨率觸控屏:支持實時數(shù)據(jù)可視化與交互操作,簡化流程。
雙電池?zé)岵灏蜗到y(tǒng)?:支持連續(xù)生產(chǎn)場景下的不間斷作業(yè),電池更換無需停機(jī)。
USB數(shù)據(jù)接口與軟件升級?:便捷導(dǎo)出檢測報告,并可通過固件更新持續(xù)優(yōu)化性能。
提升制造效率
減少50%自凈時間?:通過量化表面污染數(shù)據(jù),縮短設(shè)備維護(hù)周期(PM周期),提升產(chǎn)線吞吐量。
延長MTBC(平均無故障周期):結(jié)合顆?刂撇呗裕P(guān)鍵設(shè)備可靠性提升4倍以上。
覆蓋高潔凈場景
半導(dǎo)體制造:晶圓表面、機(jī)臺內(nèi)腔等關(guān)鍵區(qū)域的潔凈度驗證。
精密光學(xué)與電子:液晶面板、光學(xué)鏡片組件、醫(yī)療器械的表面污染控制。
符合國際標(biāo)準(zhǔn)
產(chǎn)品嚴(yán)格遵循ISO-14644-9表面粒子控制規(guī)范,為全球半導(dǎo)體廠商提供標(biāo)準(zhǔn)化檢測工具。
產(chǎn)品參數(shù)
測量粒徑:
A 0.3um、2.5um、10um; B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um;
C0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um; D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um;
E0,5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um; F 0.1μm,0.2μm,0.3μm,0.5μm,1.0μm,5.0μm;
1、粒徑分布誤差:≤±30%
2、濃度示值誤差:≤±30%
3、重復(fù)相對偏差:≤±10%FS
4、重疊誤差:≤5%
5、氣體檢測:可測氣體濃度(可選配)
6、溫度范圍:-40 ~ 120℃
7、檢定標(biāo)準(zhǔn):ISO14644-1或 JJF1190
8、氣泵流速:2.83L/min,28.3L/min(可選);
9、采樣時間:3、6、9、12、15、30、60秒(可選);
10、檢測模式:數(shù)量模式;質(zhì)量模式; 凈效模式;
11、檢測方式:定時檢測、循環(huán)檢測可設(shè)置
12、報警方式:自定義數(shù)量報警值、質(zhì)量報警值
13、限值報警:RS485信號報警或外接聲光報警器
14、法 規(guī) 性:權(quán)限管控、審計追蹤、電子記錄等
15、合 規(guī) 性:符合ISO 21501-4,JIS B9921
16、通訊接口:RS232、R485、LAN-USB
17、存儲模式:實時、定時存儲可設(shè)置;無限制
18、打印模式:可選配微型打印機(jī)打印數(shù)據(jù)
19、工作條件:5 ~ 45℃、≤90%RH,無冷凝
20、工作電源:AC 100-240V, 50 Hz/60 Hz
餾程校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)油又名餾程測定儀校準(zhǔn)標(biāo)物、餾程標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、餾程校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)品分為汽油餾程標(biāo)準(zhǔn)油及柴油餾程標(biāo)準(zhǔn)油,根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)要求自動蒸餾裝置可以模擬手動餾程方法的條件。
餾程是評定液體燃料蒸發(fā)性的最重要的質(zhì)量指標(biāo)。既能說明液體燃料的沸點范圍,又能判斷油品組成中輕重組分的大體含量,對生產(chǎn)、使用、貯存等各方面都有著重要的意義。
本標(biāo)準(zhǔn)樣品可以在指定范圍內(nèi),用ASTM D86餾程標(biāo)準(zhǔn)品驗證儀器的正常工作情況。
餾程標(biāo)準(zhǔn)油根據(jù)使用溫度范圍可以分為54~187℃、210~355℃.
規(guī)格:250ml、500ml可選。
餾程標(biāo)準(zhǔn)油用于對儀器生產(chǎn)廠家、計量院所、技術(shù)監(jiān)督局、產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗所、石化研究院等單位使用的蒸餾測定器的校準(zhǔn)及校驗。
餾程測定儀校準(zhǔn)符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn):
ASTM D86-2011b《石油產(chǎn)品在大氣壓力條件下蒸餾的標(biāo)準(zhǔn)試驗方法》
GB/T6536-2010《 石油產(chǎn)品常壓蒸餾特性測定法》
餾程標(biāo)準(zhǔn)油規(guī)格型號:
標(biāo)號 | 包裝規(guī)格 | 品名 | 適用范圍 |
D86-1 | 500ML | 合成蒸餾標(biāo)物 | 54~187℃ |
D86-1 | 2*500ML | 合成蒸餾標(biāo)物 | 54~187℃ |
D86-4 | 250ML | 蒸餾標(biāo)物 | 210~355℃ |
普洛帝推薦產(chǎn)品:GB/T261-2008閃點標(biāo)準(zhǔn)樣品、GB/T3536-2008開口閃點標(biāo)準(zhǔn)油、開口閃點參比油、開口閃點參比油,SH/T0248-2006冷濾點標(biāo)準(zhǔn)油、冷濾點測定儀器校準(zhǔn)物質(zhì)、冷濾點標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、粘度標(biāo)準(zhǔn)油、黏度標(biāo)準(zhǔn)液、石油物性校準(zhǔn)物質(zhì)、餾程標(biāo)準(zhǔn)品、卡爾費(fèi)休水分標(biāo)準(zhǔn)品、烴含量標(biāo)準(zhǔn)品、凝點標(biāo)準(zhǔn)品、923級硅膠、進(jìn)口試劑、對萘酚苯甲醇、對萘酚苯指示劑、水質(zhì)總硬度測試膠囊等石油化工標(biāo)準(zhǔn)樣品及參比樣品。
儀器優(yōu)勢:簡 約-普洛帝引用崇尚環(huán)保、降低能耗、突出的設(shè)計風(fēng)格。完 美-普洛帝在中國的經(jīng)濟(jì)實用技術(shù)產(chǎn)品。精 典-普洛帝第七代顆粒檢測技術(shù)的精典力作。在線優(yōu)勢:濾油機(jī)、清洗機(jī)、汽輪機(jī)組、變壓器、電力傳動系統(tǒng)、潤滑系統(tǒng)、檢測試驗臺等等,任何無人看護(hù)的現(xiàn)場,還是正在運(yùn)轉(zhuǎn)的設(shè)備,需要連續(xù)的監(jiān)測和及時的數(shù)據(jù),都是PLD在線顆粒分析系統(tǒng)的經(jīng)典應(yīng)用場所,并為生產(chǎn)線上的重要組成部分。體化的結(jié)構(gòu),RS232和模擬信號的輸出,滿足DCS和現(xiàn)場儀表顯示的要求。在線、實時、連續(xù)取樣、報警提示,能夠即時掌握分析液壓系統(tǒng)的動態(tài)污染診斷和磨損趨勢。液晶屏顯示,薄膜按鍵操作,結(jié)果以ISO4406或NAS1638等標(biāo)準(zhǔn)顯示。經(jīng)濟(jì)實用低成本,小型輕量易安裝,抗干擾性強(qiáng)、耐高溫高壓、外殼堅固、可在惡劣環(huán)境下使用。離線優(yōu)勢:滿足實驗室臺式機(jī)不可移動測試的缺陷,無論您是移動式測量還是實驗室測量,都會為您提供完善的測試方案,讓您的測試方便。解決連續(xù)跟蹤監(jiān)測的生產(chǎn)過程難題,無論您是即時測量還是過濾跟蹤監(jiān)測,都會為您提供完善的測試方案,讓您的測試快捷。離線取樣艙的完美結(jié)合,可實現(xiàn)大小粘度的各類油液的檢測,優(yōu)化的檢測方案和評判,可滿足標(biāo)準(zhǔn)的測試評判和自定義設(shè)計檢測。應(yīng)用軟件平臺,加載國內(nèi)外主流檢測方法和評判標(biāo)準(zhǔn),實現(xiàn)國際標(biāo)準(zhǔn)化檢測的無縫對接。儀器介紹:本儀器可以對油液顆粒度、清潔度和污染物監(jiān)測和分析;液壓設(shè)備及其日常維護(hù)和保養(yǎng);液壓部件的磨損試驗;純凈溶液和超純水中不溶性微粒測試。本儀器采用英國普洛帝技術(shù)—“光阻測量顆粒”,并采用油液行業(yè)經(jīng)典方法NAS1638和ISO4406,并可根據(jù)用戶的要求,內(nèi)置用戶所需多種標(biāo)準(zhǔn)。經(jīng)典第七代應(yīng)用軟件平臺,清洗、檢測、校準(zhǔn)和標(biāo)定各模塊可實現(xiàn)方便的設(shè)定和操作,內(nèi)置閾值、粒徑曲線和脈沖阻值,可設(shè)定任意設(shè)定通道粒徑值。微電腦彩屏顯示,內(nèi)置操作系統(tǒng)和微型打印機(jī),無需外接電腦和打印機(jī)可直接測試和打印。具有標(biāo)準(zhǔn)串行RS232口,可外接計算機(jī)存儲檢測結(jié)果,方便數(shù)據(jù)分類、檢索?砂碐B/T18854-2002(ISO11171-1999、JJG066-95)等標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行標(biāo)定、校準(zhǔn)。根據(jù)客戶要求可有償提供顆粒度計量測試站“中國航空工業(yè)顆粒度計量測試站”效驗報告。提供校準(zhǔn)物質(zhì)(GBW),協(xié)助客戶每年次的校準(zhǔn)計量工作。提供行業(yè)的“OIL17服務(wù)星”簽約式服務(wù),365天無憂使用。普勒新世紀(jì)實驗室重點推薦產(chǎn)品!執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn):GB/T14039、ISO4406、ISO11171、NAS1638、ISO4402和DL/T1096等?筛鶕(jù)客戶要求,植入相應(yīng)“光阻法顆粒度”測試和評判標(biāo)準(zhǔn)。儀器應(yīng)用:可廣泛應(yīng)用于航空航天、電力、石油、化工、交通、港口、冶金、機(jī)械、汽車制造、制冷、電子、半導(dǎo)體、工程機(jī)械、液壓系統(tǒng)等域,對液壓油、潤滑油、變壓器油(絕緣油)、汽輪機(jī)油(透平油)、齒輪油、發(fā)動機(jī)油、航空煤油、水基液壓油等油液進(jìn)行固體顆粒污染度檢測,及對有機(jī)液體、聚合物溶液進(jìn)行不溶性微粒的檢測。儀器參數(shù):訂制要求:各類潤滑液檢測要求;激光傳感檢測器:第七代雙激光窄光檢測器(精確、穩(wěn)定、迅速);測試軟件:P6.4分析測試軟件集成版;控制方式:集成式工控機(jī)控制;檢測范圍:2~100μm;1~150μm;2~200μm;1~450μm;經(jīng)典輸入:NAS163800~>12;ISO4406>4μm(c);測試標(biāo)定:GB/T18854、ISO4402、ISO11171、JJG066;取樣方式:精準(zhǔn)計量泵;測試重復(fù)性:<5%(計數(shù)值≥1000時);通 道 數(shù):1000個,可任意8個顆粒尺寸范圍的顆粒計數(shù)值;結(jié)果存儲:3000個數(shù)據(jù)(100次檢測)在線壓力:0~0.6MPa(不含減壓閥);0~31.5MPa(含減壓閥);測試粘度:離線0~99mm2/s;在線0~500mm2/s;取樣流速:10mL/min~60mL/min;清洗流速:20mL/min~150mL/min;流體溫度:0℃~80℃;環(huán)境溫度:-15℃~50℃;接口方式:可定制尺寸;顯示操作:彩色液晶屏;操作方式:手指觸摸屏;模擬輸出:4mA~20mA接口;RS232接口;并帶超標(biāo)報警功能(可定制);報告方法:顆粒數(shù)/ml及污染度等;輸入電壓:100V~265V,50Hz~60Hz;售后服務(wù):普洛帝服務(wù)中心/普研檢測。注:配置離線取樣倉可實現(xiàn)實驗室、便攜測試;