英國(guó)斯派莎克閥門中國(guó)總代理
斯派莎克spiraxsarcoDCV對(duì)夾式止回閥系列提供各種形式的止回閥,可有效的防止管道中流體回流。斯派莎克spiraxsarcoDCV2對(duì)夾式止回閥專門用于鍋爐給水,防止鍋爐水倒流。同時(shí)安裝和維修簡(jiǎn)便。DCV系列止回閥結(jié)構(gòu)緊湊,安裝簡(jiǎn)便??砂惭b在垂直或水平管道或傾斜管道,只需簡(jiǎn)單的兩片法蘭對(duì)夾安裝即可。DCV2/B系列止回閥采用特殊結(jié)構(gòu)。
斯派莎克止回閥型號(hào)介紹:DCV1、DCV2、DCV3、DCV4、DCV6、DCV7、DCV8、DCV9、DCV2/B、WCV1、WCV2、WCV3、SDCV3、SDCV7、SDCV4、SDV8、LCV1、LCV2
斯派莎克DCV2對(duì)夾式止回閥制造標(biāo)準(zhǔn):中國(guó)GB、美標(biāo)API、德標(biāo)DIN、日本JIS、JPI、英標(biāo)BS生產(chǎn)。斯派莎克DCV2對(duì)夾式止回閥材質(zhì):銅、鑄鐵、鑄鋼、碳鋼、鍛鋼、不銹鋼、304、316、316L、低溫鋼等。工作壓力1.0Mpa-50.0Mpa。工作溫度:-196℃-650℃。連接方式:螺紋、法蘭、焊接、卡套、卡箍。驅(qū)動(dòng)方式:手動(dòng)、氣動(dòng)、電動(dòng)
VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià) 北京盛世音盟電子科技有限公司 聯(lián)系人:王經(jīng)理 電話: 13466696520 公司地址:北京市豐臺(tái)區(qū)政馨園小區(qū)尚三環(huán)9層911號(hào)
VENUE | S3L-X 是S3L便攜現(xiàn)場(chǎng)混音系統(tǒng)的改進(jìn)版,讓在S3L的基礎(chǔ)上加入了可擴(kuò)展的網(wǎng)絡(luò)、控制和處理能力??墒褂枚嗯_(tái)S3L-X組成更大的系統(tǒng),也開始支持64位的 AAX DSP插件、開放EuCon控制協(xié)議和AVB網(wǎng)絡(luò)協(xié)議,兼容Avid和第三方的眾多插件。VENUE S3L-X使用新的VENUE 4.5軟件,新功能包括:可在S3L-X系統(tǒng)里共享兩個(gè)或更多的I/O接口箱,且全部支持自動(dòng)增益補(bǔ)償使用Avid S3作為一個(gè)獨(dú)立的調(diào)音控制臺(tái)和4進(jìn)6出的音頻接口使用支持最新的64位AAX DSP插件支持AVB網(wǎng)絡(luò)連接獲得比S3L多1倍的內(nèi)存直接使用一根網(wǎng)線連接到筆記本之后就可直接錄音到Pro Tools或其它DAW軟件里直接從耳機(jī)輸出進(jìn)行監(jiān)聽
VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)Sub Group輸出、兩通道AES/EBU數(shù)字輸出、1路立體聲RCA Tape輸出、2個(gè)TRS監(jiān)聽輸出、立體聲耳機(jī)輸出;錄音功能:支持34 2316747432 (不是聯(lián)系方式) VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)使用簡(jiǎn)便并且為路途中使用的解決方案,MK 4數(shù)字話筒組合了現(xiàn)代演播室技術(shù)中的眾多需求:簡(jiǎn)單化,UC 界面帶有PreSonus CaptureVENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)業(yè)水準(zhǔn)的聲音,產(chǎn)品帶有的USB錄音接口和SD錄音器都有多種用途,使用PreSonus Capture現(xiàn)場(chǎng)錄音軟件,8個(gè)用戶自定義按鈕可用于啞VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)連接,內(nèi)置軟件讓錄音變成小菜一碟,謹(jǐn)慎的mixing功能布局可以讓你快速直觀地得到進(jìn)入mixing核心所需要的一切,但同時(shí)也可以用于錄音棚環(huán)VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)dioLive AR8 USB8通道混合式調(diào)音臺(tái)讓現(xiàn)場(chǎng)演出、錄音室制作、品牌發(fā)布會(huì)、博客以及更多場(chǎng)合下的混音和錄音變得簡(jiǎn)單起來(lái),PreSonVENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)Pad上運(yùn)行,數(shù)字調(diào)音臺(tái),不僅僅是錄音而已,播放break 音樂、加入伴奏曲,使用USB 2.0將一臺(tái)StudioLive AR8 USB調(diào)VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)els 1 和 2 帶有高阻抗樂器輸入,質(zhì)量是專業(yè)的24-bit/96 kHz,編輯和發(fā)布;它們都是免費(fèi)的,或者聽音訓(xùn)練,通道選擇按鈕支持用VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)RS)、兩通道AES/EBU數(shù)字輸出、1路立體聲RCA Tape輸出、2個(gè)TRS監(jiān)聽輸出、立體聲耳機(jī)輸出;錄音功能:支持34x34 SD卡錄VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)els 1 和 2 帶有高阻抗樂器輸入,質(zhì)量是專業(yè)的24-bit/96 kHz,編輯和發(fā)布;它們都是免費(fèi)的,或者聽音訓(xùn)練,通道選擇按鈕支持用
VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)2附帶電源線,可通過藍(lán)牙連接移動(dòng)音頻設(shè)備播放音樂;輸出:2個(gè)XLR主輸出、1個(gè)XLR單聲道輸出、16個(gè)FlexMix輸出(8個(gè)XLR+8個(gè)TVENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)境,可直接將吉他或貝斯與調(diào)音臺(tái)相連接,靈活,無(wú)需計(jì)算機(jī),讓音樂家們?cè)谧约旱膇Phone/iPod touch上控制調(diào)音臺(tái),包括各式各樣的房間VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)hernet控制接口;帶觸摸屏遙控軟件UC Surface和QMix,此外,能夠與任何設(shè)備進(jìn)行完美連接,PreSonus StudioLivVENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)dioLive AR8 USB8通道混合式調(diào)音臺(tái)讓現(xiàn)場(chǎng)演出、錄音室制作、品牌發(fā)布會(huì)、博客以及更多場(chǎng)合下的混音和錄音變得簡(jiǎn)單起來(lái),PreSonVENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)6條Flex Mix總線(編組、AUX或Matrix)、4個(gè)Sub Group總線、4個(gè)內(nèi)部效果發(fā)送總線、LR總線;24個(gè)DCA編組;擁有4VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)els 1 和 2 帶有高阻抗樂器輸入,質(zhì)量是專業(yè)的24-bit/96 kHz,編輯和發(fā)布;它們都是免費(fèi)的,或者聽音訓(xùn)練,通道選擇按鈕支持用VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)訪問樂曲庫(kù),功能豐富,但同時(shí)也可以用于錄音棚環(huán)境,支持現(xiàn)場(chǎng)錄音與后期制作軟件Studio One;網(wǎng)絡(luò)接口:1個(gè)AVB網(wǎng)絡(luò)音頻接口、1個(gè)EtVENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)現(xiàn)場(chǎng)錄音軟件,使用板載 Bluetooth 4.1 配對(duì)你的手機(jī)到 StudioLive AR USB 調(diào)音臺(tái),那么即使具有最佳的輸出也沒有VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)Pad上運(yùn)行,數(shù)字調(diào)音臺(tái),不僅僅是錄音而已,播放break 音樂、加入伴奏曲,使用USB 2.0將一臺(tái)StudioLive AR8 USB調(diào)
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VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)eSonus 超級(jí)通道),直接錄音即可,集成的具有24比特/96kHz分辨率的純數(shù)字技術(shù),StudioLive RM16AI 以及 RM32VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)0個(gè)輸入接口:16路話筒輸入、16路話筒/線路輸入、2路立體聲輔助輸入、1路立體聲RCA Tape輸入,包含你需要的所有連接和控制,但是要在VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)錄制現(xiàn)場(chǎng)、在錄音棚使用和在排練中需要用到的連接器和控制器,可以插入伴奏曲并播放break音樂!,包括智能手機(jī)和平板電腦無(wú)線藍(lán)牙流,也可以在iVENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)訪問樂曲庫(kù),功能豐富,但同時(shí)也可以用于錄音棚環(huán)境,支持現(xiàn)場(chǎng)錄音與后期制作軟件Studio One;網(wǎng)絡(luò)接口:1個(gè)AVB網(wǎng)絡(luò)音頻接口、1個(gè)EtVENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)連接,內(nèi)置軟件讓錄音變成小菜一碟,謹(jǐn)慎的mixing功能布局可以讓你快速直觀地得到進(jìn)入mixing核心所需要的一切,但同時(shí)也可以用于錄音棚環(huán)VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)els 1 和 2 帶有高阻抗樂器輸入,質(zhì)量是專業(yè)的24-bit/96 kHz,編輯和發(fā)布;它們都是免費(fèi)的,或者聽音訓(xùn)練,通道選擇按鈕支持用VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)onus 的 Capture 現(xiàn)場(chǎng)錄音軟件一鍵多軌錄音,我們特殊的Super Channel(立體聲通道Channel 7/8)可以讓你同時(shí)VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)onus 的 Capture 現(xiàn)場(chǎng)錄音軟件一鍵多軌錄音,我們特殊的Super Channel(立體聲通道Channel 7/8)可以讓你同時(shí)VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)戶自定義色彩,在工作室,讓它很快就能成為你進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)及錄音棚錄音的核心產(chǎn)品,這是一個(gè)屬于音樂人的調(diào)音臺(tái):輕質(zhì)、多能、多功能性、帶有模擬連接和數(shù)
VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)臺(tái)進(jìn)行配對(duì)以后,StudioLive RM系列調(diào)音臺(tái)還可以與PreSonus的免費(fèi)軟件QMix-AI兼容,謹(jǐn)慎的mixing功能布局可以讓你VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)6條Flex Mix總線(編組、AUX或Matrix)、4個(gè)Sub Group總線、4個(gè)內(nèi)部效果發(fā)送總線、LR總線;24個(gè)DCA編組;擁有4VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)臺(tái)進(jìn)行配對(duì)以后,StudioLive RM系列調(diào)音臺(tái)還可以與PreSonus的免費(fèi)軟件QMix-AI兼容,謹(jǐn)慎的mixing功能布局可以讓你VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)onus 的 Capture 現(xiàn)場(chǎng)錄音軟件一鍵多軌錄音,我們特殊的Super Channel(立體聲通道Channel 7/8)可以讓你同時(shí)VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)網(wǎng)絡(luò)音頻接口、1個(gè)Ethernet控制接口;帶觸摸屏遙控軟件UC Surface和QMix,但是StudioLive AR調(diào)音臺(tái)的ChannVENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)eSonus 超級(jí)通道),直接錄音即可,集成的具有24比特/96kHz分辨率的純數(shù)字技術(shù),StudioLive RM16AI 以及 RM32VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)onus 的 Capture 現(xiàn)場(chǎng)錄音軟件一鍵多軌錄音,我們特殊的Super Channel(立體聲通道Channel 7/8)可以讓你同時(shí)VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)us的StudioLive AR12 USB是一個(gè)14通道混合性能和錄音混音器,詳細(xì)特征:,MK 4數(shù)字話筒,StudioLive AR調(diào)音VENUE S3L-X SYSTEM正品低價(jià)訪問樂曲庫(kù),功能豐富,但同時(shí)也可以用于錄音棚環(huán)境,支持現(xiàn)場(chǎng)錄音與后期制作軟件Studio One;網(wǎng)絡(luò)接口:1個(gè)AVB網(wǎng)絡(luò)音頻接口、1個(gè)Et
VX 聲速測(cè)定儀
VX是一種手持式超聲波聲速測(cè)定儀。當(dāng)被測(cè)定的材料,比如是鑄件、合金或者塑料時(shí),VX就會(huì)測(cè)出聲波穿過他們時(shí)的速度。因此,可得出所測(cè)材料內(nèi)部組織是否緊密無(wú)缺陷。VX有兩種測(cè)量模式:?jiǎn)吸c(diǎn)模式:即將儀器的探頭放在被測(cè)工件上,VX就會(huì)測(cè)出超聲波在該點(diǎn)處材料中的聲速。掃描模式:操作者將探頭壓在工件上并沿表面移動(dòng);當(dāng)探頭被拿起時(shí),VX就會(huì)顯示出所掃查區(qū)域內(nèi)的最大聲速。 VX為金屬外殼包裝,且以密封墊密封;可以滿足最惡劣條件下的使用要求。 本儀器能隨你去任何地方、做任何你要做的工作,省時(shí)、省錢,同時(shí)還能測(cè)得最精確的數(shù)據(jù)
達(dá)高特向用戶提供的VX聲速測(cè)定儀具有品質(zhì)優(yōu)良、堅(jiān)固耐用、攜帶輕便的特點(diǎn)。它能滿足您在最惡劣的工業(yè)環(huán)境條件下和各種特殊測(cè)量的要求。是一種測(cè)量各種金屬和非金屬材料聲速的理想工具。
技術(shù)參數(shù)
物理參數(shù)重量: 285g(帶電池)外形: 63.5 X 114.3 X 31.5mm外殼: 擠壓鋁機(jī)殼,底蓋用鍍鎳鋁 板加密封墊封裝。
鍵盤 6個(gè)反饋式按鍵。有密 封覆膜。防水和耐油。
探頭 雙晶探頭 頻率范圍:1-10MHZ 快鎖式LEMO接頭 1.2米長(zhǎng)電纜 (可提供用戶特需探頭)
電源 2節(jié)1.5V堿性電池或1.2V AA 鎳鎘電池。 堿電池可用200小時(shí)。鎳鎘電 池可用130小時(shí)。當(dāng)電量低時(shí), 顯示屏?xí)W爍;當(dāng)電池電量太 低以致儀器不能工作時(shí), 儀器會(huì)自動(dòng)關(guān)閉。
顯示 4.5位液晶顯示屏。 顯示讀數(shù)高為0.5英寸。背光可 選開/關(guān)自動(dòng)。 測(cè)量值以英寸/微秒(10-6秒) 或米/秒顯示,, 條形圖指示讀數(shù)穩(wěn)定,
測(cè)量范圍范圍: 0.63—500 mm (可以選擇英制或公制)
分辨率: 0.001mm
聲速范圍: 1,250-10,000米/秒 單點(diǎn)測(cè)量時(shí):每秒4個(gè)讀數(shù); 掃查測(cè)量時(shí):每秒16個(gè)讀數(shù)。 采用單點(diǎn)測(cè)量模式校驗(yàn), 已知厚度或聲速。
質(zhì)量認(rèn)證 出廠時(shí)按英國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)校驗(yàn)
供應(yīng)倍加福傳感器武漢代理現(xiàn)貨直銷
UB500-18GM75-E4-V15 UB1000-18GM75-U-V15 UC2000-30GM-IUR2-T-V15UB500-18GM75-E5-V15 UB2000-30GM-E4-V15 UC2000-30GM-IUR2-V15UB500-18GM75-E6-V15 UB2000-30GM-E5-V15 UC4000-30GM-E6R2-V15UB500-18GM75-E7-V15 UB2000-30GM-H3 UC4000-30GM-E7R2-V15UB500-18GM75-I-V15 UB2000-30GM-H3-V1 UC4000-30GM-IUR2-V15UB500-18GM75-U-V15 UB4000-30GM-E4-V15 UC6000-30GM-E6R2-V15UB500-30GM-E4-V15 UB4000-30GM-E5-V15 UC6000-30GM-E7R2-V15UB500-30GM-E5-V15 UB4000-30GM-H3-V1 UC6000-30GM-IUR2-V15UB800-18GM40A-E5-V1 UB6000-30GM-E4-V15 UB500-F54-I-V15UB800-18GM40A-I-V1 UB6000-30GM-E5-V15 UB500-F54-U-V15UB800-18GM40A-U-V1 UC1000-30GM-E6R2-K-V15 UB2000-F54-E4-V15UB1000-18GM75-E4-V15 UC1000-30GM-UYR2-K-V15 UB2000-F54-E5-V15UB1000-18GM75-E5-V15 UC2000-30GM-E6R2-T-V15 UB2000-F54-H3-V1UB1000-18GM75-E6-V15 UC2000-30GM-E6R2-V15 UB2000-F54-I-V15UB1000-18GM75-E7-V15 UC2000-30GM-E7R2-T-V15 UB2000-F54-U-V15UB1000-18GM75-I-V15 UC2000-30GM-E7R2-V15
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南京泉林電氣自動(dòng)化有限公司是集貿(mào)易、技術(shù)、服務(wù)于一體的電氣專業(yè)性經(jīng)營(yíng)公司,擁有西門子、施耐德、ABB、AB、富士、松下、正泰等公司的銷售代理權(quán)。公司以靈活的經(jīng)營(yíng)方式,一流的服務(wù),高新名優(yōu)產(chǎn)品去開拓市場(chǎng),占領(lǐng)市場(chǎng),博得用戶的青睞和信賴。在江蘇、安徽、山東等省擁有穩(wěn)定的客戶群及合作伙伴。
公司廣泛服務(wù)于建材、電力、機(jī)械、冶金、紡織、建筑、化工、等行業(yè)。長(zhǎng)期致力于工業(yè)自動(dòng)化控制系統(tǒng),工業(yè)電器的推廣和應(yīng)用,在本行業(yè)中有20多年的營(yíng)銷經(jīng)驗(yàn),取得了名牌廠家及世界著名公司的授權(quán)代理經(jīng)銷:
德國(guó)西門子SIEMENS 法國(guó)施耐德Schneider 霍尼韋爾HONEYWELL
瑞士ABB 日本三菱MITSUBISHI 日本富士FUJI
日本歐姆龍OMRON菲尼克斯PHOENIX
德國(guó)施邁賽SCHMERSAL 倍加福P+F 正泰電氣CHINT 德國(guó)圖爾克TURCK 美國(guó)A-B 德國(guó)E+H
施克SICK 日本內(nèi)密控NEMICON
經(jīng)銷產(chǎn)品:
可編程控制器(PLC) 低壓產(chǎn)品及配電產(chǎn)品 自控器件與傳感器件
變頻調(diào)速電機(jī)傳動(dòng) 開關(guān)電源 液壓傳動(dòng)
建筑電氣 軸承 編碼器
儀器儀表 觸摸屏 工業(yè)連接器接插件
電線電纜 中低壓配電柜 工業(yè)鏈條
![]() | Designed for circuits with high power requirements. The VL connectors can be used for wire-to-wire or wire-to-board connections. *The inter-housing lock secures the plug to the receptacle and prevents accidental disconnection. *Secondary retainers(optional) | ||||||||
| Product Profile | |||||||||
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正品!泰克示波器專用TDS3GV GPIB卡趙S13532314086
安徽上華電纜有限公司座落于被譽(yù)為“電纜之鄉(xiāng)”的天長(zhǎng)市,南接歷史文化名城南京,東連旅游勝地?fù)P州,地處蘇皖交界,靠205國(guó)道淮揚(yáng)路線,地理?xiàng)l件,在南京、揚(yáng)州,淮陰三市之間,交通便捷。王懷 聯(lián)系電話:1 3721012939
本公司是具有一定規(guī)模的中型工業(yè)企業(yè),專門生產(chǎn)電線電纜,具有(控制電纜、電力電纜、硅橡膠電纜、高溫電纜、計(jì)算機(jī)電纜)的生產(chǎn)許可證和準(zhǔn)產(chǎn)證,先后通過ISO9001質(zhì)量管理和國(guó)家強(qiáng)制3C認(rèn)證。主要的產(chǎn)品有:熱電偶補(bǔ)償導(dǎo)線、屏蔽補(bǔ)償導(dǎo)線、高溫補(bǔ)償導(dǎo)線、阻燃控制電纜、屏蔽控制電纜、控制軟電纜、耐高溫電纜、耐油電纜、鍍銀屏蔽線、鍍錫屏蔽線、云母高溫線、純鎳耐溫線、變頻器專用電纜、船用電纜、汽車低壓電纜、計(jì)算機(jī)屏蔽電纜、本安電纜、DCS信號(hào)電纜、防爆電纜、防火電纜、硅橡膠電纜、橡套軟電纜、鎧裝電纜,品種齊全。并可根據(jù)用戶需要開發(fā)設(shè)計(jì)制造新品種,用于冶金、機(jī)械、化工、電力通訊設(shè)備及重大領(lǐng)域,通過使用倍受好評(píng)。 本公司有的歷史,雄厚的技術(shù)力量、齊全的檢測(cè)設(shè)備、豐富的制造經(jīng)驗(yàn),合理的價(jià)格,滿足有關(guān)工礦企業(yè),科研等而下之單位的需要。目前隨著機(jī)械電子工業(yè)的調(diào)整發(fā)展,產(chǎn)品不斷更新,技術(shù)上精益求精。 我們的宗旨:以的產(chǎn)品質(zhì)量投放市場(chǎng),質(zhì)量上要求科技領(lǐng)先、顧客至上、不斷創(chuàng)新、質(zhì)量永恒。
用途: 熱電偶用(耐高溫)補(bǔ)償導(dǎo)線、補(bǔ)償電纜,是在一定溫度范圍內(nèi)(包括高溫、常溫)具有與匹配的熱電動(dòng)勢(shì)的標(biāo)稱值相同的一對(duì)帶有絕緣層的導(dǎo)線,用它們連接熱電偶與測(cè)量裝置,以補(bǔ)償它們與熱電偶連接處的溫度變化所產(chǎn)生的誤差。本產(chǎn)品適用于分度號(hào)為S、K、E、T、J、N型各種熱電偶與溫度顯示儀表之間的電氣連接,以提高測(cè)量精度。 2:使用條件: (1) 工作溫度:耐熱用:200℃和260℃兩種; 一般用:70℃和105℃兩種。 (2) 環(huán)境溫度:氟塑料絕緣和護(hù)套電纜:固定敷設(shè)-60℃,非固定敷設(shè)-20℃; 聚氯乙烯絕緣和護(hù)套電纜:固定敷設(shè)-40℃,非固定敷設(shè)-15℃。 (3) 最小彎曲半徑:聚氯乙烯絕緣和護(hù)套電纜非鎧裝電纜不小于電纜外徑的6倍,氟塑料絕緣和護(hù)套非鎧裝電纜不小于電纜外徑的10倍,鎧裝電纜不小于電纜外徑的12倍。 3、產(chǎn)品品種、規(guī)格、結(jié)構(gòu)型式 (1) 產(chǎn)品品種及型號(hào):見表1 表1
產(chǎn)品名稱 型 號(hào) 配用熱電偶 熱電偶分度號(hào) 銅-銅鎳補(bǔ)償型導(dǎo)線(電纜) SC 鉑銠10-鉑熱電偶鉑銠13-鉑熱電偶 S 鐵-銅鎳補(bǔ)償型導(dǎo)線(電纜)銅-銅鎳補(bǔ)償型導(dǎo)線(電纜) KCAKCB 鎳鉻-鎳硅熱電偶 K 鎳鉻-鎳硅延長(zhǎng)型導(dǎo)線(電纜) KX 鎳鉻-鎳硅熱電偶 K 鐵-銅鎳補(bǔ)償型導(dǎo)線(電纜)鎳鉻硅-鎳硅延長(zhǎng)型導(dǎo)線(電纜) NCNX 鎳鉻硅-鎳硅熱電偶 N 鎳鉻-銅鎳延長(zhǎng)型導(dǎo)線(電纜) EX 鎳鉻-銅鎳熱電偶 E 鐵-銅鎳延長(zhǎng)型導(dǎo)線(電纜) JX 鐵-銅鎳熱電偶 J 銅-銅鎳延長(zhǎng)型導(dǎo)線(電纜) TX 銅-康銅鎳電偶 T
(2) 產(chǎn)品規(guī)格:見表2表2 名 稱 導(dǎo)體標(biāo)稱截面mm2 導(dǎo)體結(jié)構(gòu) mm 補(bǔ)償導(dǎo)線 補(bǔ)償電纜 A B 線芯對(duì)數(shù) 1 二線組:1~24對(duì)三線組:1~19對(duì) 0.5 1/Φ0.80 7/Φ0.30 1.0 1/Φ1.13 7/Φ0.43 1.5 1/Φ1.37 7/Φ0.52 2.5 1/Φ1.76 19/Φ0.41
注:① 補(bǔ)償導(dǎo)線規(guī)格為:2*導(dǎo)體標(biāo)稱截面,補(bǔ)償電纜規(guī)格為:芯數(shù)*2*導(dǎo)體標(biāo)稱截面,推薦的線對(duì) 為:1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、12、14、16、19、24等。 ② 根據(jù)用戶的要求可提供阻燃型、耐火型、低煙低鹵型、低煙無(wú)鹵型補(bǔ)償電纜以及耐熱硅橡膠絕緣和護(hù)套補(bǔ)償電纜。訂貨時(shí)需注明即可。 4、技術(shù)要求 (1) 補(bǔ)償導(dǎo)線及補(bǔ)償電纜合金導(dǎo)體和絕緣層顏色:見表3 表3 產(chǎn)品型號(hào) 補(bǔ)償導(dǎo)線及電纜線芯 絕緣層著色 配用熱電偶分度號(hào) 正極 負(fù)極 正極 負(fù)極 SC 銅 銅鎳0.6 紅 綠 S(鉑銠10-鉑)R(鉑銠13-鉑) KCA 鐵 銅鎳22 紅 藍(lán) K(鎳鉻-鎳硅) KCB 銅 銅鎳40 紅 藍(lán) KX 鎳鉻10 鎳硅 紅 黑 EX 鎳鉻10 銅鎳45 紅 棕 E(鎳鉻-銅鎳) JX 鐵 銅鎳45 紅 紫 J(鐵-銅鎳) TX 銅 銅鎳45 紅 白 T(銅-銅鎳 NC 鐵 銅鎳18 紅 灰 N(鎳鉻硅-鎳硅) NX 鎳鉻硅 鎳硅 紅 灰 (2) 補(bǔ)償導(dǎo)線及補(bǔ)償電纜使用分類、等級(jí)標(biāo)志及護(hù)套著色:見表4 表4 使用分類 標(biāo)志代號(hào) 允差等級(jí)及標(biāo)志 護(hù)套著色 普通級(jí) 精密級(jí) 普通級(jí) 精密級(jí) 本安型 一般用 G 省 S 黑色 灰色 藍(lán)色 耐熱用 H 黑色 灰色 藍(lán)色 (3) 補(bǔ)償導(dǎo)線及補(bǔ)償電纜熱電特性及允差表:見表5 表5 型號(hào) 使用分類 溫度范圍℃ 熱電動(dòng)勢(shì)允差μV 測(cè)量端溫度℃ 往復(fù)電阻20℃長(zhǎng)度為1m不大于Ω 普通級(jí) 精密級(jí) 0.5mm2 1.0mm2 1.5mm2 2.5mm2 SC G 0~100 ±60(±5.0℃) ±30(±5.0℃) 1000 0.10 0.05 0.03 0.02 H 0~200 KCA G 0~100 ±100(±2.5℃) ±60(±1.5℃) 1000 1.40 0.70 0.47 0.28 H 0~200 900 KCB G 0~100 900 1.04 0.70 0.47 0.28 KX G -20~100 900 2.20 1.10 0.73 0.44 H -25~200 900 EX G -20~100 ±200(±2.5℃) ±120(±1.5℃) 500 2.50 1.25 0.83 0.50 H -25~200 500 JX G -20~100 ±140(±2.5℃) ±85(±1.5℃) 500 1.30 0.65 0.43 0.26 H -25~200 500 TX G -20~100 ±60(±1.0℃) ±30(±0.5℃) 300 1.04 0.52 0.35 0.21 H -25~200 ±90(±1.5℃) ±48(±0.8℃) 300 NC G 0~100 ±100(±2.5℃) ±60(±1.5℃) 900 1.50 0.75 0.50 0.30 H 0~200 900 NX G -20~100 900 2.86 1.43 0.95 0.57 H -25~200 900 (4) 其它性能指標(biāo):見表6 表6 項(xiàng) 目 單 位 性能指標(biāo) PVC絕緣 F46絕緣或F絕緣 絕緣電阻(20℃)≥ MΩ·km 25 500 電壓試驗(yàn) V/1min 1000 阻燃性能 由供需雙方根據(jù)補(bǔ)償電纜的使用條件按GB/T18380-2001標(biāo)準(zhǔn)商定
5、型號(hào)、名稱:見表7~表8表7 補(bǔ)償導(dǎo)線 型 號(hào) 名 稱 KX-VV 聚氯乙烯絕緣和護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償導(dǎo)線 KX-VPV 聚氯乙烯絕緣和護(hù)套銅絲編織屏蔽K分度熱電偶用屏蔽補(bǔ)償導(dǎo)線 KX-FF 氟塑料絕緣和護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償導(dǎo)線 KX-FPF 氟塑料絕緣和護(hù)套銅絲編織屏蔽K分度熱電偶用屏蔽補(bǔ)償導(dǎo)線 KX-FV-105 氟塑料絕緣耐熱105℃聚氯乙烯護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償導(dǎo)線 KX-FPV-105 氟塑料絕緣銅絲編織屏蔽耐熱105℃聚氯乙烯護(hù)套K分度熱電偶用屏蔽補(bǔ)償導(dǎo)線 KX-HF4B 聚四氟絕緣玻璃絲編織護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償導(dǎo)線 KX-HF4PB 聚四氟絕緣銅絲編織屏蔽玻璃絲編織護(hù)套K分度熱電偶用屏蔽補(bǔ)償導(dǎo)線 注: ① 其他型號(hào)補(bǔ)償導(dǎo)線SC、KC、EX、JX、TX、NC、NX等,只需改寫型號(hào)的項(xiàng),如:EX-VVP; ② 屏蔽型式有:P:銅絲屏蔽,P1:鍍錫絲屏蔽; ③ 氟塑料絕緣和護(hù)套高溫補(bǔ)償導(dǎo)線用氟塑料整體連續(xù)擠出,具有很好的電性能和耐酸堿油水性能; ④ 一般用(G)普通級(jí)和精密級(jí)(S)以及耐熱用(H)普通級(jí)和精密級(jí)(S)補(bǔ)償導(dǎo)線在訂貨注明即可。 表8 補(bǔ)償電纜 型 號(hào) 名 稱 KX-VV 聚氯乙烯絕緣對(duì)絞聚氯乙烯護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償電纜 KX-VPV 聚氯乙烯絕緣對(duì)絞銅絲編織分屏蔽聚氯乙烯護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償電纜 KX-VPVP 聚氯乙烯絕緣對(duì)絞銅絲編織分屏蔽總屏蔽聚氯乙烯護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償電纜 KX-VVP 聚氯乙烯絕緣對(duì)絞銅絲編織總屏蔽聚氯乙烯護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償電纜 KX-FF 氟塑料絕緣對(duì)絞氟塑料護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償電纜 KX-FPF 氟塑料絕緣對(duì)絞銅絲編織分屏蔽氟塑料護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償電纜 KX-FPFP 氟塑料絕緣對(duì)絞銅絲編織分屏蔽總屏蔽氟塑料護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償電纜 KX-FFP 氟塑料絕緣對(duì)絞銅絲編織總屏蔽氟塑料護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償電纜 KX-FV-105 氟塑料絕緣對(duì)絞耐熱105℃聚氯乙烯護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償電纜 KX-FPV-105 氟塑料絕緣對(duì)絞銅絲編織分屏蔽耐熱105℃聚氯乙烯護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償電纜 KX-FPVP-105 氟塑料絕緣對(duì)絞銅絲編織分屏蔽總屏蔽耐熱105℃聚氯乙烯護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償電纜 KX-FVP-105 氟塑料絕緣對(duì)絞銅絲編織總屏蔽耐熱105℃聚氯乙烯護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償電纜 KX-HF4B 聚四氟絕緣對(duì)絞玻璃絲編織護(hù)套K分度熱電偶用補(bǔ)償電纜 KX-HF4PB 聚四氟絕緣對(duì)絞銅絲編織分屏蔽玻璃絲編織護(hù)套K分度熱電偶用屏蔽補(bǔ)償電纜 KX-HF4PBP 聚四氟絕緣對(duì)絞銅絲編織分屏蔽總屏蔽玻璃絲編織護(hù)套K分度熱電偶用屏蔽補(bǔ)償電纜 KX-HF4BP 聚四氟絕緣對(duì)絞銅絲編織總屏蔽玻璃絲編織護(hù)套K分度熱電偶用屏蔽補(bǔ)償電纜 注: ① 其他型號(hào)補(bǔ)償電纜SC、KC、EX、JX、TX、NC、NX等,只需改寫型號(hào)的項(xiàng),如:EX-VPV; ② 屏蔽型式有:P:銅絲屏蔽,P1:鍍錫絲屏蔽,P3:鋁/聚酯復(fù)合膜,P2:銅塑復(fù)合膜; ③ 氟塑料絕緣和護(hù)套高溫補(bǔ)償導(dǎo)線用氟塑料整體連續(xù)擠出,具有很好的電性能和耐酸堿油水性能。 ④ 一般用(G)普通級(jí)和精密級(jí)(S)以及耐熱用(G)普通級(jí)和精密級(jí)(S)補(bǔ)償電纜在訂貨注明即可。 ⑤ 本安補(bǔ)償電纜需在原型號(hào)前加“IA-”,如:IA-KX-VPVP;需阻燃補(bǔ)償電纜,應(yīng)在原型號(hào)前加“ZR-”。
用于反應(yīng)離子刻蝕(RIE)及等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 (PEVCD)的等離子處理系統(tǒng)。
BM8-II是一款定義反應(yīng)離子刻蝕(RIE)及等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 (PEVCD)等離子處理新概念的等離子處理系統(tǒng)。
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)基于模塊化設(shè)計(jì)制造,采用一款通用的真空處理艙及機(jī)柜。等離子處理系統(tǒng)采用平板式電極、反應(yīng)離子刻蝕(RIE)電極及等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 (PEVCD)電極模塊化設(shè)計(jì)理念,方便整體系統(tǒng)的組裝及配置。
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)帶給用戶方便操作,提供多種等離子處理工藝、方便維護(hù)及性價(jià)比高的反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積等離子處理系統(tǒng),比業(yè)內(nèi)其它反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)更具競(jìng)爭(zhēng)力。
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)-主要性能簡(jiǎn)介
等離子工藝處理的研發(fā)需要多功能且可靠的等離子處理系統(tǒng)。為了滿足等離子研究日新月異的要求,用戶選購(gòu)的系統(tǒng)設(shè)備滿足最大范圍的等離子工藝參數(shù)需要,工藝驗(yàn)證需要極其高的可重復(fù)性,必須方便改造用于新的等離子工藝需要。我們相信BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)系列干法工藝等離子系統(tǒng)滿足這些非??量痰囊?。. BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)是一款用于研究,工藝開發(fā)及其小批量生產(chǎn)的等離子系統(tǒng)工具,用于最大八英寸基片的精確等離子刻蝕及沉積。BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)可以在多片或單片處理模式下操作。
在設(shè)計(jì)BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)之初,主導(dǎo)指示就是創(chuàng)造一款融合高質(zhì)量、可靠、重復(fù)性及其用于生產(chǎn)系統(tǒng)的工藝控制能力為一體的等離子系統(tǒng);同時(shí)極大的降低主機(jī)成本、維護(hù)成本及占地面積小等要求。
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)具有獨(dú)特的機(jī)體結(jié)構(gòu)和電極設(shè)計(jì),方便安裝在層流模塊中或是超凈間。BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)的建造采用高質(zhì)量認(rèn)可的部件、模塊化裝配、多功能真空艙體及其電極設(shè)計(jì)、結(jié)構(gòu)緊湊、自動(dòng)化及業(yè)內(nèi)認(rèn)可工藝程序使得BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)成為工藝工程師首選干法等離子處理設(shè)備。
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)-主要性能介紹
· 一體式真空艙體構(gòu)造
· 原位電極間距設(shè)計(jì)(PEVCD版)
· 可更換工藝氣體噴頭
· 業(yè)內(nèi)認(rèn)可的工藝程序
· 高質(zhì)量業(yè)內(nèi)認(rèn)可的主要部件
· 終點(diǎn)探測(cè)監(jiān)測(cè)(Endpoint detection選配)
· 多種電極配置
· 自動(dòng)射頻(RF)匹配器
· 下游壓力控制(Downstream pressure control選配)
· 電腦控制,基于Windows編程
· 多款真空泵浦選配:機(jī)械泵、機(jī)械泵/風(fēng)機(jī),渦輪增壓泵浦
· 單真空艙及雙真空艙結(jié)構(gòu)
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)-應(yīng)用
基于系統(tǒng)建造的高質(zhì)量處理模塊,BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)滿足廣泛的等離子處理工藝條件,無(wú)論是復(fù)雜的亞微米級(jí)反應(yīng)離子刻蝕 (RIE)還是高質(zhì)等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PEVCD)薄膜的沉積。以下是我們,BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)的典型工藝處理應(yīng)用,基與眾多客戶群的緊密協(xié)作,我們開發(fā)出業(yè)內(nèi)認(rèn)可的工藝程序,保證系統(tǒng)滿足用戶所需。用于生產(chǎn)制造的系統(tǒng)設(shè)備均采用最高質(zhì)量的部件,保證,BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)提供最大可能的正常運(yùn)行時(shí)間、 可靠性、重復(fù)性及耐用性。
· 故障分析應(yīng)用(Failure analysis)
· 材料改性(Material modification)
· 粘合促進(jìn)等離子descum
· 表面處理(Surface treatment)
· 各向異性各項(xiàng)同性及刻蝕(Anisotropic and isotropic etching)
· 金屬刻蝕(Metal etching)
· Si02(二氧化硅), Si3N4 (氧化硅)及 SiOxNy(氮氧化矽)薄膜沉積
· II-V 刻蝕應(yīng)用(III-V etching)
· 溝槽刻蝕(Trench etching)
· 鈍化層刻蝕(Passivation etching)
· 聚酰亞胺刻蝕(Polyimide etching )
· 亞納米級(jí)刻蝕(Submicron etching)
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)規(guī)格
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)的廣泛使用得益于其高性價(jià)比,多功能設(shè)計(jì)模塊,提供其他同類反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)沒有的工藝優(yōu)勢(shì)。這些包括層流安裝占地面積小,多款電極配置,及其最大可滿足直徑8英寸(203毫米)基片處理等。
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)基本模塊
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)基本部件包括一款基于Windows的PC控制器及其菜單存儲(chǔ)、質(zhì)量流量控制的兩路通道控制(最大可擴(kuò)展至六通道)、溫度補(bǔ)償式電容壓力計(jì)用于測(cè)量工藝真空度、100毫米真空通道用于最大工藝氣體電導(dǎo)、KF或ISO標(biāo)準(zhǔn)管件便于維護(hù);及其它工藝及服務(wù)特性。工藝氣體導(dǎo)管未不銹鋼操作,配備VCE連接件。
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)-真空處理艙
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)的真空處理艙采用整塊鋁合金建造成一體式設(shè)計(jì)。反應(yīng)離子刻蝕(RIE)、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PEVCD)及平板電極系統(tǒng)均采用同樣的真空處理艙設(shè)計(jì)。真空處理艙上部包括一個(gè)電極,并且具有原位電極可調(diào)間距;真空艙下部包括基片電極,真空泵浦接口及氣體必要的真空閥及其真空監(jiān)控設(shè)備。自動(dòng)升降臺(tái)抬舉真空艙上部便于接近底部電極。
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)-電極配置
反應(yīng)離子刻蝕(RIE)系列電極特別為達(dá)到低真空范圍的最佳等離子性能設(shè)計(jì)。上部的不銹鋼電極包括噴頭式工藝氣體供應(yīng)系統(tǒng)。不銹鋼材質(zhì)底部電極通過可選配冷卻循環(huán)槽來(lái)控制溫度。反應(yīng)離子刻蝕(RIE)陽(yáng)極采用暗區(qū)屏障設(shè)計(jì),使等離子在兩塊電極之間產(chǎn)生。等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積((PECVD )電極采用類似的設(shè)計(jì),但是鋁制底部基片電極最大可耐400℃高溫,而上部電極(通電電極)是采用水冷卻。鋁制電極具有氣體感應(yīng)端口,便于沉積工藝后的快速冷卻。對(duì)于(等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD )應(yīng)用,上部電極的間距可以在25.40至89毫米之間調(diào)節(jié)。
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)-等離子電源
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)的電源可匹配廣泛的功率及其等離子電源頻率。所有的電源采用固態(tài)、風(fēng)冷式。電源功率從300至1250瓦特均有,射頻頻率從40KHz(中頻)至2.45GHz(微波);系統(tǒng)標(biāo)配為13.56MHz,600瓦特射頻電源??蛇x配自動(dòng)或手動(dòng)匹配器。
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)-工藝處理真空泵浦
根據(jù)用戶的工藝需要,BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)配備機(jī)械泵、機(jī)械泵及渦輪分子泵,或是帶魯氏鼓風(fēng)機(jī)的機(jī)械泵。也可根據(jù)所需真空處理級(jí)別配備不同尺寸大小的真空泵浦。
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)-控制器
控制器采用電腦控制整個(gè)系統(tǒng)?;?span>Windows的控制軟件采用多屏幕顯示系統(tǒng)設(shè)備控制、數(shù)據(jù)記錄、稱呼設(shè)定及存儲(chǔ),系統(tǒng)連鎖應(yīng)需配備。
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)-選配
為了增強(qiáng)BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)的工藝處理能力,BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)提供廣泛的工藝處理選項(xiàng),包括終點(diǎn)檢測(cè)、水冷器(用于冷卻電極)、油霧分離器及吹掃系統(tǒng)、下周壓力控制、硬質(zhì)陽(yáng)極氧化真空艙。工藝廢氣處理系統(tǒng)也可提供。應(yīng)離子刻蝕(RIE)/等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PEVCD)任意結(jié)合的雙真空處理艙可以配置。反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PEVCD)組合配置具有明顯的多功能性,其優(yōu)勢(shì)在于避免不同沉積工藝的交叉污染。
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)尺寸
| 單真空處理艙 | Dual雙真空處理艙 | |
| 寬: | 91厘米 | 104厘米 |
| 深: | 81厘米 | 114厘米 |
| 機(jī)柜高度: | 91厘米 | 91厘米 |
| 整機(jī)高度: | 129厘米 | 129厘米 |
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)重量
70~120公斤. (取決于具體系統(tǒng)配置).
BM8-II反應(yīng)離子刻蝕(RIE)/沉積(PEVCD)等離子處理系統(tǒng)安裝條件
| 等離子系統(tǒng)主機(jī): | |
| 220VAC/1/50Hz, 7A | |
| 真空泵浦系統(tǒng): | |
| 220VAC/1/50Hz, 5A | |
| 電極冷卻水源: | 20℃ ±2℃ |
| 真空閥驅(qū)動(dòng)氣源: | 0.88MPa |
| 氮?dú)?/span>: | 0.1~0.14MPa (用于真空處理艙吹掃)) |
| 氣源: | 等離子處理工藝氣體, VCR 管件 |
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