產(chǎn)特點:● 納米深度3D檢測● 高速、無接觸量● 表面形狀、粗糙度分析● 非透明、透明材質(zhì)皆適用● 非電子束、非雷射的安全量測● 低維護成本
的3D圖形處理與分析軟體(Post Topo):● 提供3D圖形處理與分析● 提供自動表面平整化處理功能● 提供高階標(biāo)準片的軟件自校功能● 深度、高度分析功能提供線性分析與區(qū)域分析等兩種方式● 線性分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度(Roughness)與起伏度● (waviness)的測量分析?商峁┒噙_17種的ISO量測參數(shù)與4種額外量測數(shù)據(jù)(Wafer)● 區(qū)域分析方式提供圖形分析與統(tǒng)計分析● 具有平滑化、銳化與數(shù)字過濾波等多種二維快速利葉轉(zhuǎn)換(FFT)處理功能● 量測分析結(jié)果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出
高速精密的干涉解析軟件(ImgScan):● 系統(tǒng)硬件搭配ImgScan處理軟件自動解析白光干涉條紋● 垂直高度可達0.1nm● 高速的分析算法則,讓你不在苦候測量結(jié)果● 垂直掃描范圍的設(shè)定輕松又容易● 有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇● 平臺X、Y、Z位置數(shù)字式顯示,使檢測目標(biāo)尋找快速又便利● 具有手動/自動光強度調(diào)整功能以取得佳的干涉條紋對比● 具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測量模式供選擇● 具有的解析算法則可處理半透明物體的3D形貌● 具有自動補點功能● 可自行設(shè)定掃描方向技術(shù)規(guī)格參數(shù):
型號 | AE-100M | ||
移動臺(mm) | 平臺尺寸100*100 ,行程13*13 | ||
物鏡放大倍率 | 10X | 20X | 50X |
觀察與量測范圍(mm) | 0.43*0.32 | 0.21*0.16 | 0.088*0.066 |
光學(xué)分辨力(μm) | 0.92 | 0.69 | 0.5 |
收光角度(Degrees) | 17 | 23 | 33 |
工作距離 | 7.4 | 4.7 | 3.4 |
傳感器分辨率 | 640*480像素 | ||
機臺重量(kg)/載重kg | 20kg/小于1kg | ||
Z軸移動范圍 | 45mm , 手動細調(diào) | ||
Z軸位置數(shù)字顯示器 | 分辨力1μm | ||
傾斜調(diào)整平臺 | 雙軸/手動調(diào)整 | ||
高度測量 | |||
測量范圍 | 100(μm)(400μm ,選配) | ||
量測分辨力 | 0.1nm | ||
重復(fù)精度 | ≤ 0.1% (量測高度:>10μm) | ||
≤10nm(量測高度1μm 10μm) | |||
≤ 5nm(量測高度:<1μm ) | |||
量測控制 | 自動 | ||
掃描速度(μm/s) | 12(高) | ||
光源 | |||
光源類型 | 儀器用鹵素(冷)光源 | ||
平均使用壽 | 1000小時100W 500小時(150W) | ||
光強度調(diào)整 | 自動/手動 | ||
數(shù)據(jù)處理與顯示用計算機 | |||
中央處理運算屏幕 | 雙核心以上CPU | ||
影像與數(shù)據(jù)顯示屏幕 | 17 " 雙晶屏幕 | ||
操作系統(tǒng) | Windows XP(2) | ||
電源與環(huán)境要求 | AC100 --240 V 50-60Hz | ||
環(huán)境振動 | VC-C等以上 | ||
測量分析軟件 | |||
量測軟件ImgScan | ImgScan測量軟件:具VSI/ PVSI/PSI 測量模式(PSI量測模式需另選配PSI模塊搭配) | ||
分析軟件PosTopo | ISO 粗燥度/階高分析,快速傳利葉轉(zhuǎn)換和濾波,多樣的2D和3D 觀測視角圖,外形/面積/體積分析,圖像縮放、標(biāo)準影像文件格式轉(zhuǎn)換 報表輸出,程序教導(dǎo)測量等。 |
Talysurf CCI 6000白光干涉儀 隨著科技潮流,非接觸式的量測至今已被廣泛的應(yīng)用在生產(chǎn)及研發(fā)上,而Taylor Hobson經(jīng)多年的研發(fā)于2003年初推出的Talysurf CCI 6000白光干涉儀可堪稱目前世界上精度最高功能最強的白光干涉儀,,其超高解析度的特性(0.1Å),可以運用在量測晶圓 ,微機電及拋光元件等產(chǎn)品的粗糙度 平面度 及膜厚分析等,而非破壞性的特性更可以有效的量測軟性物質(zhì),在邁入奈米紀元同時相信Talysurf CCI 6000絕對是各大企業(yè)不可少的量測系統(tǒng)。 Talysurf CCI 6000白光干涉儀: &解析度(Z軸) 0.01nm (0.1Å) &測量范圍(Z軸) 100um &測量范圍(X x Y) 0.36mm x 0.36mm ~ 7.2mm x 7.2mm(依物鏡倍率不同可自由選擇) &1024 x 1024 高解析量測點數(shù) &受測物的反射率 0.3% - 100% (透明物亦可量測) 硬件及軟件 &氣浮式防震系統(tǒng)已隔絕樓板震動‧隔離罩以隔離外在環(huán)境避免影響量測精度 &相容于Windows 2000及 Windows XP 系統(tǒng) CCI干涉儀 Mirau 干涉 白光干涉儀3D分析軟件 &Talymap 3D & 2D 分析軟體。 &可分析項目: 粗度 平面度 波紋 膜厚 體積計算 承壓比值 等等。 &微機電尺寸計算(距離 高度 等計算)‧表面頻譜分析(FFT) MEMS Sensor Optics Diamond Turned& Wafer Step Talysurf CCI 6000白光干涉儀應(yīng)用: &MEMS 微小尺寸計算 &Silicon Wafer 表面粗度 平面度 &非球面鏡表面粗糙度 &硬碟 光碟表面組織形狀 &OLED PDP LCD 膜厚分析計算
PG15激光平面干涉儀 1、工作基于雙光束等厚干涉原理。 2、根據(jù)近代光學(xué)的研究結(jié)果,http://www.tjhuayue.cn 裝生產(chǎn)線 BOSCH電磁閥 粉末包裝機 調(diào)味品包裝機 光兼有波動與微粒兩重特性。光的干涉現(xiàn)象是光的波動性的特性。 JDS立式接觸式干涉儀 是一種采用量塊或標(biāo)準零件借以高精度的比較方式的立式精密長度計量儀器。主要用于150mm以下塊規(guī),亦可用作高精密度的長度和外徑的精密測量,是各級計量室的基本長度計量儀器之一! 〖夹g(shù)參數(shù): 1、被測件最大長度:150mm 2、工作臺行程:5mm 3、測桿移動范圍:0.5mm 4、分劃板刻度范圍:±50格 5、直接測量范圍:5-20μm http://www.heima88.com.cn 數(shù)字電橋 數(shù)字示波器 直流電子負載 函數(shù)信號發(fā)生器 含氣飲料生產(chǎn)線 6、分度值調(diào)整范圍:0.05-0.2μm 7、推薦使用分度值:0.1μm 8、測量壓力:(1.5±0.1)N 9、儀器示值穩(wěn)定性:0.02μm http://www.meifukeji.com 粒包裝機 茶葉包裝機 粉劑包裝機 液體包裝機 粉末包裝機 10、儀器誤差:±(0.03+1.5ni△λ/λ)um n是格數(shù),i是格值,λ是濾光片中心波長,△λ是濾光片波長誤差 11、儀器體積:280×500×700mm 12、儀器重量:40kg高壓滅菌器 全自動給袋式包裝機 機床防護罩價格 鉗工平臺 三坐標(biāo)測量平臺 大理石平臺 PE膜收縮機 精密增力電動攪拌器 電鏡兩用電極 栓劑模具 賀德克濾芯 滾齒機 BlueM YPC電磁閥 煤炭檢測設(shè)備 裝載機電子秤
一、產(chǎn)品說明
采用量塊或標(biāo)準零件,以高精度比較方式的立式精密長度計量儀器。主要用于150 mm以下塊規(guī),亦可用作高精密度的長度和外徑的精密測量,是各級計量室的基本長度計量儀器之一。
二.技術(shù)參數(shù)
1.被測件最大長度: 150 mm2.工作臺行程: 5 mm
3.測桿移動范圍:0.5mm
4.分劃板刻度范圍:±50格5.直接測量范圍:5-20μm6.分度值調(diào)整范圍: 0.05 - 0.2μm7.推薦使用分度值: 0.1μm8.測量壓力: (1.5 ± 0.1) N9.儀器示值穩(wěn)定性: 0.02μm10.儀器誤差: ±(0.03 + 3n i λ) μm ( n-格數(shù), i- 格值, λ-濾光片波長誤差)11.儀器體積:28*50*70cm12.儀器重量:40KG
13.標(biāo)準配件: 五筋園臺;九筋瑪瑙臺;可調(diào)園平臺;輔助臺; 平面測帽 Ф2;小球面測帽;干涉濾光片
產(chǎn)品介紹
| ![]() ![]() ![]() ![]() MCV-500H 激光多普勒干涉儀 測量功能、主要技術(shù)指標(biāo)和儀器成套性 1.主要測量功能:直線位移測量 1) 測量數(shù)控軸系直線運動的定位精度和重復(fù)定位精度。簡稱數(shù)控 機床定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量。又稱:線性 測量,直線測量等。 2)測量數(shù)控機床的體對角線精度。
注:在 MCV-500H 標(biāo)準配置基礎(chǔ)上用戶還需選購 LD-37S 萬能 折光鏡和 LD-58 對角線測量靶標(biāo)座以后才具有數(shù)控機床 的體對角線精度測量功能。 3)測量機械平臺、坐標(biāo)測量機的單軸精度和空間精度。 注:在 MCV-500H 標(biāo)準配置基礎(chǔ)上用戶還需選購 LD-37S 萬能 折光鏡和 LD-58 對角線測量靶標(biāo)座以后才具有坐標(biāo)測量 機的空間精度測量功能。 4)作為精密平臺的長度基準器。 2.MCV-500H 主要技術(shù)指標(biāo)
序技術(shù)指標(biāo)名稱標(biāo)準配置特殊訂貨 1激光頻率穩(wěn)定性0.02ppm 2位移測量分辨率0.001μ m 3位移測量精度0.2ppm(0.2 μm/m) ※ MCV-500H 激光多普勒干涉儀測量功能、主要技術(shù)指標(biāo)和成套性 科望技術(shù)咨詢(上海)有限公司T E L : 第 1 頁 共 6 頁2015-5-4 4位移測量距離80m 5最大移動速度5.0m/秒 6工作環(huán)境溫度5 ~38℃ 7工作環(huán)境海拔高度0~3000m 8工作環(huán)境相對濕度0~95% 9空氣溫度傳感器精度±0.1℃ 10材料溫度傳感器精度±0.1℃ 11空氣壓力傳感器精度±1.1mmHg 13電源電壓90~265VAC 14電源頻率50~60 赫 ※ 此精度是在標(biāo)準大氣環(huán)境中不使用材料溫度傳感器自動溫度修正(ATC) 實現(xiàn)的,使用 ATC時 精度受限于材料溫度傳感器的準確性。
3.MCV-500 儀器(標(biāo)準配置)成套性明細表
序代號名稱數(shù)量備注 1L-109H單光束激光頭1 2P-108D信號處理器1
3IATCP 自動溫度氣壓補償傳感器 1空氣溫度傳感器、空氣 壓力傳感器、材料溫度 傳感器各一只,空氣壓 力傳感安裝在 P-108D 處理器的主板上。 4LD-21L電纜組、接頭。1 長度為 12 英尺(3.5m) 5R-102A0.5 英寸平行反射鏡1 6LD-3790 度折光鏡1 7LD-03磁坐1 8LD-03P磁坐加立柱1 9LD-14A裝置板1 10內(nèi)六角板手1 套6 支 11220V 電源線1 12USB 連接線1 13W-500測長軟件1 14LD-500使用手冊1 15LD-20D包裝箱1
4.MCV-500H 測量軟件對直線位移測量數(shù)據(jù)可按以下標(biāo)準進行分析
序標(biāo)準標(biāo)準號 1中國國家標(biāo)準GB/T 17421.2-2000 2國際標(biāo)準ISO 230-2:1997 3國際標(biāo)準ISO 230-2:1988 4德國工程協(xié)會VDI-3441 5日本標(biāo)準Japanese Standard 6美國國家機床制造協(xié)會NMTBA 7美國國家機床制造協(xié)會具零飄移的 NMTBA 8美國機械工程師協(xié)會ASME B5.54 9美國機械工程師協(xié)會ASME B5.57
5.MCV-500H分析軟件可自動生成螺距誤差補償軟件的控制器品牌和 型號(該部份軟件為選購附件): 6.可供 MCV-500H 選購的各種測量功能附件
序選購件代號測量功能備注
1.W-500LB1.動態(tài)測量。 2.直線運動時位移、速度、加速度測 量。W-500LB 為 圓形軌跡測 量軟件。 2LB-5001.動態(tài)測量。 2.直線運動時位移、速度、加速度測 量。 3.機床在做二軸插補運動時位移、速 度、加速度的測量。 4.圓形運動軌跡測量。 5.圓形運動軌跡分析。 LB-500 為圓 形軌跡測量 組件。 2SP-5001.動態(tài)測量。 2.直線運動時位移、速度、加速度測 量。 3.機床在做二軸插補運動時位移、速 度、加速度的測量。 4.圓形運動軌跡測量。 5.主軸精度(徑向跳動、端面跳動)測 量。
SP-500 為主 軸精度(徑向 跳動、端面 跳動)測量組 件。
3SD-5001.對角線精度測量。 2.分軸步進對角線測量和分析。 3.生成相應(yīng)控制器的空間精度補償程 序(該部份軟件為選購件)。SD-500 為空 間精度(分軸 步進對角線) 測量組件。
4SQ-5001.直線軸的直線度(水平直線度、上下 直線度)測量。 2.二軸垂直度測量。 3.二軸平行度測量。SQ-500 為垂 直度、 直線 度測量組 件。 5AM-500導(dǎo)軌(直線軸)運動中的角偏(俯仰角、偏 擺角)測量。AM-500 為 角偏測量組 件。
詳細技術(shù)報價方案請致電業(yè)務(wù)人員: 潘宏剛 13601906309
上海道勤檢測儀器有限公司是全球領(lǐng)先的測量解決方案提供商,公司多年來已為全球20多個國家和地區(qū)的客戶提供測量技術(shù)與產(chǎn)品解決方案。道勤公司擁有計量檢測業(yè)界最完整的測量解決方案,通過全系列計量檢測產(chǎn)品和專業(yè)技術(shù)服務(wù),靈活滿足不同客戶的差異化需求以及快速檢測及創(chuàng)新的追求。 道勤公司堅持以持續(xù)技術(shù)創(chuàng)新為客戶不斷創(chuàng)造價值,所銷售產(chǎn)品在德國、美國、法國、瑞士、英國、挪威、中國等地設(shè)有全球研發(fā)機構(gòu),產(chǎn)品榮獲諸多國際專利,憑借不斷增強的創(chuàng)新能力、突出的靈活定制能力、日趨完善的技術(shù)能力贏得全球客戶的信任與合作。 道勤公司始終貫徹可持續(xù)發(fā)展理念,運用高、精、尖的測量技術(shù)幫助不同地區(qū)的客戶提供完善的計量應(yīng)用方案。 公司的核心價值觀:為客戶服務(wù)是道勤公司存在的唯一理由!客戶需求是道勤公司發(fā)展的原動力!我們堅持以客戶為中心,快速響應(yīng)客戶需求,持續(xù)為客戶創(chuàng)造長期價值。為客戶提供有效服務(wù)是我們工作的方向和價值評價的標(biāo)尺,幫助客戶提升產(chǎn)品在市場上的強有力競爭。我們的價值主張,為適應(yīng)現(xiàn)代工業(yè)的革命性變化,道勤公司圍繞客戶需求和技術(shù)領(lǐng)先持續(xù)創(chuàng)新,與業(yè)界伙伴開放合作,為用戶提供最先進的計量檢測產(chǎn)品,我們力爭成為客戶計量檢測領(lǐng)域的最佳合作伙伴,成為用戶最信賴的供應(yīng)商。道勤公司所銷售的產(chǎn)品在全球20多個國家設(shè)有生產(chǎn)及研發(fā)機構(gòu),強大的研發(fā)團隊使我們時刻保持成為計量檢測領(lǐng)域的風(fēng)向標(biāo),努力為世界制造業(yè)用戶提供最佳解決方案! 主要銷售的產(chǎn)品有:三坐標(biāo),光譜儀,投影儀,偏擺儀,硬度計,氣動量儀,色譜儀,測長儀,影像測量儀,齒輪測量儀,測高儀,粗糙度儀,輪廓儀,萬能材料試驗機,測量顯微鏡,萬能工具顯微鏡,高低溫試驗箱,鹽霧試驗箱,探傷儀,三維掃描儀,激光干涉儀,光筆測量儀,圓度儀,圓柱度儀,涂層測厚儀,超聲波測量儀,工業(yè)內(nèi)窺鏡,工業(yè)CT等。以及各類檢測儀器的升級改造,維修保養(yǎng)服務(wù)。 |