| 型號 | LCD-70-TEG | LCD-100-TEG | |
| 外形 | 2500mm長*2000mm寬*2500mm高 | 3800mm長*2500mm寬*2500mm高 | |
| 重量 | 約9700KG | 約14200KG | |
| 電力需求 | 380V，50Hz, 3Phase, approx. 50A Max | ||
| 可測試液晶屏尺寸 | 長寬≤1600 * 1100 mm(W x D) , 厚度≤3mm | 長寬≤2400 * 1400 mm(W x D) , 厚度≤3mm | |
| 平臺功能 | Gantry結構 | 龍門式 | |
| X-Y-Z軸運動行程 | 1600 * 1100 *58mm | 2400 * 1400 *58mm | |
| X-Y運動速度 | 0~400mm/s可調(diào) | ||
| X-Y精度(最小移動量) | 0.1um | ||
| X-Y重復定位精度 | ±5um | ||
| X-Y 軸驅(qū)動 | 直線電機+光柵尺 | ||
| Z 運動速度 | 0~2mm/s可調(diào) | ||
| Z精度 | 0.25um | ||
| Z重復定位精度 | ±1um | ||
| Z軸驅(qū)動 | 伺服電機+光柵尺 | ||
| Z軸保護 | 電機保護+機械限位保護 | ||
| 樣品臺平整度 | 25um平整度 (檢測方法：顯微鏡等焦面測試法) | ||
| 樣品臺涂層 | 防靜電涂層 | ||
| 樣品臺高低溫 | Temp Chuck 或者 Thermal Stream (-55~200℃) | ||
| 光學特性 | 光路系統(tǒng)倍率： | 5X ,10X ,20X，50X Objects ，放大倍率范圍50X~ 500X | |
| 聚焦 | 自動聚焦 | ||
| CCD | 200/500萬像素工業(yè)相機 | ||
| 光源 | 面背光、點背光、上光源 | ||
| 光源亮度獨立可調(diào)，面背光可選擇分區(qū)控制 | |||
| 激光特性 | 激光系統(tǒng) | 激光切割系統(tǒng)（2.2mj/Pluse Maximum@50Hz) | |
| 0-100% | |||
| 激光波長 | 1064nm，532nm，355nm | ||
| 光斑尺度 | 0.8~1.5um @100X object | ||
| 1.0~3.0um @50X object | |||
| 工作模式 | One Shot/Burst/Continue | ||
| 形狀 | 可調(diào)節(jié)的矩形 | ||
| 探針規(guī)格 | 針卡 | 兩套，可同時測試兩個patten | |
| Pitch范圍：定制 | |||
| 探針材質(zhì)：鎢or鈹銅等 | |||
| 工作模式：可以單獨測試，或者兩個針卡一起測試。兩個針卡間的相互距離可調(diào)。 | |||
| 探針和TEG對位方式 | 坐標定位 | ||
| 測試過程中的二次視覺自動校準 | |||
| 探針和TEG的接觸方式 | 自動接觸 | ||
| 探針自動保護功能:機械限位，可以根據(jù)panel厚度設定限位高度，也可以按探針接觸樣品測試Pad時發(fā)生的形變，設備通過探針形變情況，從而確定壓入量。 | |||
| 探針軸旋轉行程 | 360° | ||
| 探針旋轉精度 | 0.01° | ||
| 旋轉重復定位精度 | 0.03° | ||
| 探針清潔 | 自動清潔 | ||
| 清潔后視覺自動判斷 | |||
| 探針臺漏電精度（安裝針卡的情況） | 100fA 以內(nèi)（測試標準：給針卡任意針腳加壓-5V~+5V，在不吹N2的情況下，空載測試漏電流<100fA） | ||
| 吹氮氣N2輔助干燥(Recipe 可以設置是否開啟，且測試報告體現(xiàn)開N2與不開N2區(qū)別) | |||
| 測試能力 | 測試系統(tǒng) | 兩套 | |
| 半導體參數(shù)測試系統(tǒng) 2*HRSMU+4*MPSMU+CV 測試單元等 | |||
| TFT測試項目 | Ion | ||
| Ioff | |||
| Vth | |||
| Mobility | |||
| Swing | |||
| Resistance測試項目 | Rs | ||
| Rc | |||
| 其他客戶需要的項目 | options | ||
| 最大輸送電壓 | +-200V | ||
| 最大輸送電流 | +-1A | ||
| 電流測試分辨率 | 1fA（無需前置放大器） | ||
| 電壓測試分辨率 | 0.5uV | ||
| CV 測試頻率范圍 | 1kHz~5MHz | ||
| 接地單元電流宿能力 | 4.2A GNDU | ||
| 控制 | 工作模式 | 自動測試，實現(xiàn)數(shù)據(jù)的自動導入和輸出，聯(lián)機通訊 | |
| 手動或者半自動測試 | |||
| 上下片 | 機械手或者流水線 | ||
| CIM系統(tǒng) | 有 | ||
| 減震 | 主動式減震系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)50X 物鏡下畫面不抖動 | ||
| 工業(yè)PC | 23寸顯示器&電腦：i7 處理器，1TB硬盤2塊(其中一塊為備份硬盤)，8G內(nèi)存，1G獨立顯卡，DVD-ROM | ||
| 通訊接口 | RS232/EtherCAT/GPIB等 | ||
| 安全 | 整機帶屏蔽罩，操作人員在屏蔽罩外操作 | ||
| 緊急開關EMO | |||
| 限位sensor，運動平臺和探針系統(tǒng)限位互鎖 | |||
| Interlock報警，自動關閉系統(tǒng)(軟件設置為可選) | |||
| 應用 | TFT-LCD Panel TEG 探針測試，OLED Panel TEG探針測試 | ||
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型號 PJ-A3005D-50 PJ-A3010F-100 PJ-A3005F-150 PJ-A3010F-200 測量范圍（X x Y軸） 50 x 50mm 100 x 100mm 150 x 50mm 200 x 100mm 讀數(shù)裝置 數(shù)顯微分頭 內(nèi)裝光柵尺 可快速移動 — X．Y兩軸 分辨率 0.001mm 投影屏 直徑：315mm回轉角度：±360°角度讀數(shù)：0.01°或1′（可換） 投影鏡頭 10X鏡頭組（標準配置），可選配20X、50X、100X鏡頭 放大精度 輪廓照明：±0.1%或更小表面照明：±0.15%或更小 輪廓照明 光源：鹵素燈（24V 150W）高低亮度轉換 表面照明 光源：鹵素燈（24V 150W）半反射鏡垂直照明 數(shù)據(jù)輸出 僅XY坐標數(shù)據(jù)輸出
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