HMDS預處理系統(tǒng)
在半導體生產(chǎn)工藝中,光刻是至關(guān)重要的一個工藝環(huán)節(jié),而涂膠工藝的好壞,直接影響到光刻的質(zhì)量,所以涂膠也顯得尤為必要,尤其在所刻線條比較細的時候,任何一個環(huán)節(jié)有一點紕漏,都可能導致光刻的失敗。在涂膠工藝中,所用到的光刻膠絕大多數(shù)是疏水的,而晶片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,如果在晶片表面直接涂膠的話,勢必會造成光刻膠和晶片的粘合性較差,甚至造成局部的間隙或氣泡,涂膠厚度和均勻性都受到了影響,從而影響了光刻效果和顯影。
為了解決這一問題,涂膠工藝中引入了一種化學制劑,即HMDS,它的英文全名叫Hexamethyldisilazane(HMDS),化學名稱叫六甲基二硅氮甲烷,把它涂到硅片表面后,通過加溫可反應生成以硅氧烷為主題的化合物,這實際上是一種表面活性劑,它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起到耦合的作用,再者,在顯影的過程中,由于它增強了光刻膠與基底的粘附力,從而有效地抑制刻蝕液進入掩模與基底的側(cè)向刻蝕。 最初,人們用液態(tài)的HMDS直接涂到晶片上,然后借著晶片的高速旋轉(zhuǎn)在晶片表面形成一層HMDS膜。這樣就階段性的解決了基片和光刻膠之間的結(jié)合問題,但隨著光刻線條的越來越細,膠的越來越薄,對粘附力提出了更高的要求,于是我們研制出了現(xiàn)在的HMDS預處理系統(tǒng)。
2 HMDS預處理系統(tǒng)的優(yōu)越性
HMDS預處理系統(tǒng)的優(yōu)點在于:
(1)預處理性能更好,由于是在經(jīng)過數(shù)次的氮氣置換再進行的HMDS處理,所以不會有塵埃的干擾,再者,由于該系統(tǒng)是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝,同一個容器中進行,晶片在容器里先經(jīng)過100℃-200℃的去水烘烤,再接著進行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機會大大降低,所以有著更好的處理效果。
(2)處理更加均勻。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性。
(3)效率高。液態(tài)涂布是單片操作,而本系統(tǒng)一次可以處理多達多盒的晶片。
(4)更加節(jié)省藥液。實踐證明,用液態(tài)HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統(tǒng)處理多盒晶片所用藥液還多;
(5)更加環(huán)保和安全,HMDS是有毒化學藥品,人吸入后會出現(xiàn)反胃、嘔吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等,由于整個過程是在密閉的環(huán)境下完成的,所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾氣是直接由機械泵抽到尾氣處理機,所以也不會對環(huán)境造成污染。
3系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
整個系統(tǒng)由加熱、真空系統(tǒng)、充氮、加藥和控制模塊等5部分組成。
3.1加熱模塊
由于工藝的整個過程都需要在150℃左右的環(huán)境下進行,所以自始至終加熱系統(tǒng)都在工作。
本系統(tǒng)采用在腔體外側(cè)加熱,采用人工智能PID調(diào)節(jié)儀實現(xiàn)閉環(huán)控制,調(diào)節(jié)儀控制固態(tài)繼電器的輸出,從而實現(xiàn)溫度的精確穩(wěn)定控制,測溫采用通用的高精度熱敏電阻Pt100。
3.2真空模塊
由機械泵、真空組件、真空測量等組成,主要作用是置換氣體和抽走剩余的HMDS蒸汽,不再贅述。
3.3充氮模塊
作用是在置換過程中,用氮氣來逐漸稀釋空氣或藥液蒸汽,從而最終替換空氣或藥液蒸汽的氣氛。
主要由氮氣源、控制閥和噴頭組成。
3.4加藥模塊
加藥模塊的作用是在需要的時候把藥液變成蒸汽,均勻的涂布到晶片表面。
它主要由藥液瓶,接口、控制閥和噴頭組成。
3.5控制模塊
控制模塊是本系統(tǒng)的核心模塊,它的作用是控制各個模塊的動作和時序,完成整個工藝過程。
它主要由人機界面,CPU控制中心,控制接口和輸出部件,報警等5部分組成。
人機界面采用臺灣威綸通觸摸屏來實現(xiàn)參數(shù)、狀態(tài)等界面的顯示和參數(shù)的設(shè)定輸入。PLC采用三凌FX系列小型化PLC。
4軟件組成
整個控制軟件共分4個部分,即自動運行、手動控制、參數(shù)設(shè)定、幫助。
當按下自動運行鍵后,畫面轉(zhuǎn)換到運行畫面,顯示當前的工藝狀態(tài),運行時間等,同時系統(tǒng)開始運行。
首先打開真空泵、開始抽真空、待腔內(nèi)真空度達到某高真空度(該值可預設(shè))后,開始充入氮氣,充到達到某低真空度(該值也可預設(shè))后的再次重復抽真空、充入氮氣的過程,達到設(shè)定的充入氮氣的次數(shù)后再次抽真空,然后充入藥液,達到設(shè)定時間后,停止充入藥液,進入保持階段。當?shù)竭_設(shè)定的保持時間后,再次開始抽真空、充入氮氣,次數(shù)為設(shè)定值,當系統(tǒng)自動工作完成后,畫面切換到結(jié)束畫面,同時給出聲光報警等待取片,在自動工作過程中若出現(xiàn)異?牲c擊運行畫面中的停止鍵,隨時終止程序的運行。5、 HMDS-90真空系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
內(nèi)部尺寸:450X450X450
電源: AC220V,功率:3000W
真空度: 常壓到—133pa或1TORR以下
材質(zhì): 內(nèi)部SUS316電解處理 外殼SS41靜電噴涂。
管路: SUS潔凈管
層架; SUS316材質(zhì)
門內(nèi)板: 鋼化玻璃
流程控制:液晶觸摸屏(臺灣威綸通)、PLC控制(三菱),流程可編輯,可以預存5組程序。(可根客戶要求可以更改流程)
加熱方式:腔體外側(cè)加溫。 溫度:RT+10℃~ 200℃;微電腦溫度控制器,控溫
精確可靠?販鼐龋1℃,真空室溫度均勻
氮氣裝置:氮氣進入箱內(nèi)有調(diào)壓裝置,控制有自動閥完成。
HMDS裝置:HMDS藥液進入箱內(nèi)采用壓力差吸取瓶內(nèi)HMDS方式,自動閥控制
真空泵:抽氣速度4升\秒
工作流程:
首先打開真空泵、開始抽真空、待腔內(nèi)真空度達到某高真空度(該值可預設(shè))后,開始充入氮氣,充到達到某低真空度(該值也可預設(shè))后的再次重復抽真空、充入氮氣的過程,達到設(shè)定的充入氮氣的次數(shù)后再次抽真空,然后充入藥液,達到設(shè)定時間后,停止充入藥液,進入保持階段。當?shù)竭_設(shè)定的保持時間后,再次開始抽真空、充入氮氣,次數(shù)為設(shè)定值,當系統(tǒng)自動工作完成后,畫面切換到結(jié)束畫面,同時給出聲光報警等待取片,在自動工作過程中若出現(xiàn)異常可點擊運行畫面中的停止鍵,隨時終止程序的運行。
用戶可以根據(jù)實際的需要選擇不同的測量單元及顯示指示,測量自選量程范圍。
測量分析成分 | 最小量程 | 最大量程 | 分析方法 | |
O2 | 氧氣 | 0 – 21,0 % | 0-25,0% | 電化學/氧化鋯/磁氧 |
CO2 | 二氧化碳 | 0 – 5,0 % | 0-20,0% | NDIR 非分散紅外傳感器 |
CO | 一氧化碳 | 0 – 200 ppm | 0-4000ppm | NDIR 非分散紅外傳感器 |
SO2 | 二氧化硫 | 0 – 200 ppm | 0-4000ppm | NDIR 非分散紅外傳感器 |
NO | 一氧化氮 | 0 – 200 ppm | 0-4000ppm | NDIR 非分散紅外傳感器 |
NO2 | 二氧化氮 | 0 – 200 ppm | 0-4000ppm | 催化轉(zhuǎn)換成NO |
簡要描述
· SWG 300-1煙氣連續(xù)分析儀主要采用NDIR非分散紅外傳感器測量原理為基礎(chǔ)分析有毒氣體成份,這些傳感器組合測量可以使SWG 300-1分析儀測量的氣體不會出現(xiàn)交叉干擾。
· 氧氣分析方法可以選擇:長壽命的電化學測量單元(預計5年時間),或ZrO2氧化鋯傳感器或者順磁原理測量技術(shù)(提供給用戶選擇)
· 分析儀預備有可以預裝O2分析單元和4個NDIR 紅外傳感器氣室,適合于單獨分析CO,
CO2,NO和SO2, 紅外傳感器適合于低量程的氣體有CO,NO和SO2安裝在19” 機架上
· 可選擇一個外擴輸入接口如變送器(4-20mA或0-10Vdc)能夠通過AUX接口輸入· SWG 300-1將被安置在一個取樣方便的采樣位置,適用于取樣到分析從采樣點到分析中,采樣點到分析儀距離越短分析的反應時間塊,標準的加熱采樣管線10米(其他長度可選),采用全程加熱管線取樣到分析儀。
· SWG 300-1分析儀數(shù)字輸出接口和8路0/4-20mA模擬輸出,測量的數(shù)據(jù)可以輸出進行處理分析也可以通過RS485接口輸出,測量數(shù)據(jù)可以打印輸出帶時間日期和通過RS232接口輸入到PC機( MRU 32-bit Data Logger software inclusive)
· 現(xiàn)場實時顯示測量結(jié)果以及自診斷參數(shù)。
· SWG300設(shè)計適合于連續(xù)分析測量,自動校準零點,依據(jù)軟件可以自由選擇設(shè)定一天至少一次。
· 220 V / 50 Hz交流電,機箱底部預留開口,用于排放冷凝水;連接煙氣采樣管線(帶自加熱功能,10米長)。
· SWG300使用應該在一個干燥,干凈,溫度在+5°C 至 +45°C環(huán)境下可以長時間連續(xù)使用。
硬 件
所有硬件都在以小型,鋼制機箱內(nèi)(重量約90公斤,IP 54防護等級,通過將儀器固定到方型輪子架子上,)
Ÿ 透明玻璃門
Ÿ 操作鍵盤,LCD顯示器(帶背光)測量數(shù)據(jù)
Ÿ 完善的煙氣分析組合系統(tǒng)包括:
Ÿ 煙氣取樣氣泵
Ÿ 冷凝水氣泵
Ÿ 冷凝水自動排放
Ÿ 過濾器單元能夠過濾煙氣和環(huán)境氣體
Ÿ 流量計
Ÿ 三通電磁閥切換氣路,以自動標定零位,并抽取環(huán)境空氣沖洗傳感器
Ÿ 內(nèi)置熱敏打印機
Ÿ m-微細過濾處理器
Ÿ IR-紅外傳感器
Ÿ RS232 接口
Ÿ 8路 0/4-20mA 模擬輸出
軟 件
標準軟件。包括所有上述功能,并自動診斷系統(tǒng)內(nèi)部狀態(tài)。
SWG 300 – 隨時進行自我檢測,并輸出相應控制及報警信號。包括:
系統(tǒng)故障
· 帕爾帖(Peltier)冷卻器自動控制
· 傳感器功能
· 冷凝水檢測
· 自加熱管線自動調(diào)節(jié)
· 自動測量和待機功能
· 打印機
· 自動零點標定
· 儲存數(shù)據(jù)輸出到PC ( MRU 32-bit Data Logger
技 術(shù) 參 數(shù)
| 分析參數(shù) | 傳感器類型 | 標準量程 (其它量程單獨咨詢) | 分辨率 | 精度
|
| O2 | Electrochemical cell | 0 to 21,0% | 0,1% | ± 0,2% |
| CO2 | NDIR bench 1 | 0 to 20,0% | 0,1% | ± 0.1% or ± 5% reading |
| CO | NDIR bench 2 | 0 to 200ppm 0 to 1.000ppm | 1ppm | ± 4ppm or ± 2% reading |
| SO2 | NDIR bench 3 | 0 to 200ppm 0 to 1.000ppm | 1ppm | ± 4ppm or ± 2% reading |
| NO | NDIR bench 4 | 0 to 200ppm 0 to 1.000ppm | 1ppm | ± 4ppm or ± 2% reading |
| NO2 | Catalytic conversion into NO | 0 to 200 ppm | 1ppm | ± 4ppm or ± 2% reading |
計算值: CO [mg/m3]; NOx as NO2 [mg/m3], SO2 [mg/m3],
相應時間: 20 秒從進入分析儀的接口開始
顯示: 液晶LCD顯示,自帶背景燈
打印機: 熱敏打印機,打印紙寬 58 mm
采樣氣泵境況: 內(nèi)置帕爾帖冷卻器冷卻溫度到= +5°C,
過濾器過濾粒徑小于1µ
環(huán)境溫度: +5°C 至 + 40°C,相對濕度在空氣最大95%, 非冷凝
外型尺寸: 880 x 600 x 575mm (深x寬x高)
重量: 約 90 公斤
防護等級: IP 54
電源: 230Vac, 50 to 60Hz, up to 600W
信號輸出: 8 路模擬輸出, 一路信號每個氣體 4 - 20mA,
PCRS232數(shù)據(jù)輸送到PC
道閘,電動道閘,自動道閘,遙控道閘,智能道閘,停車場道閘設(shè)備,停車場設(shè)備,擋車器,擋車設(shè)備,柵欄道閘,慢速道閘,快速道閘,電動擋車器, 擋車器|道閘|電動擋車器|電動道閘|自動擋車器|曲臂道閘,道閘設(shè)備,自動道閘,道閘門,泉州擋車器
泉州道閘,泉州自動道閘,泉州擋車道閘
泉州電動擋車器,福建擋車器|泉州道閘|福建電動擋車器|福建電動道閘|福建泉州自動擋車器|福建泉州曲臂道閘,停車場道閘系統(tǒng),停車場收費系統(tǒng),停車場管理系統(tǒng),福建停車場收費系統(tǒng),泉州閘道,晉江道閘,南安閘道,閘機
泉州停車場遠距離刷卡系統(tǒng),泉州停車場系統(tǒng),泉州車輛管理系統(tǒng)
電控功能及參數(shù)主要技術(shù)參數(shù): 工作電壓:220V±10% 工作溫度:-40゜C~80゜C 相對濕度:≤90% 負載功率:4KW 遙控接收距離:≥50米 功能簡介: 數(shù)碼遙控,使用方便快捷,操作簡單 四線控制,節(jié)省資源,安全地感防砸,落桿時不砸到擊人或物體,安全 到位輸出接口,可外接指示裝置,使門體更具人性化,隨時告知通行狀態(tài).
泉州道閘,晉江道閘,南安道閘,石獅道閘,惠安道閘福建泉州停車場道閘,停車場系統(tǒng),停車場設(shè)備銷售泉州電動道閘,泉州自動道閘,泉州遙控道閘,泉州道閘
該裝置主要用于PAM類的粉狀藥劑配制與投加,例如污泥脫水系統(tǒng)中投加高分子助凝劑。亦可用于PAC類的藥劑配置與投加。全自動干粉投料機是用在水處理制程中之高分子溶液之配制與加藥。以特定濃度之高分子溶液加入廢水,以加速污泥之凝結(jié)。
絮凝劑制備系統(tǒng)即PAM制備系統(tǒng),是根據(jù)PAM的物理化學性質(zhì)量身打造的設(shè)計方案。PAM物化性質(zhì)是:易受潮,粉末遇水不易分散,需要一定的熟化時間,且散落在外界不易清理。在設(shè)計中充分考慮到PAM的特性,系統(tǒng)在制備過程中完全避免了這些不利因素:
真空吸料機進料,進料完全,不會散落到其他地方,實現(xiàn)無揚塵清潔的操作環(huán)境;
水射器使PAM在預溶解時充分與水接觸,避免干粉成塊,形成難以溶解的魚眼狀,避免浪費PAM干粉,節(jié)約處理成本;
多螺旋給料出口配有主動防潮閥門,防止停止給料時外界濕氣與粉末長期接觸而結(jié)塊。
混凝劑是常用的水處理藥劑,常見的有鐵鹽、鋁鹽等,常用的有聚合氯化鋁、硫酸鋁、三氯化鐵、硫酸亞鐵等。我們根據(jù)各類混凝劑的不同的物化性質(zhì),設(shè)計不同的方案。
給水、循環(huán)水等其它水處理系統(tǒng)干粉藥的配制與投加,也可參照選用。
一、用途與特點
將絮凝劑泡制成溶液,以作為化學混凝、污泥調(diào)理之用,本機適用食品、化工、造紙、染整….等工業(yè)制程中半成品及其污水、污泥處理用絮凝劑之泡制。
本產(chǎn)品為一完整套裝自動連續(xù)式之高分子配制機組,可以高分子干粉或濃縮液配制成稀釋液以供使用,采粉狀或液態(tài)比例定量混合處理,可均勻泡制避免藥粉量的浪費及不必要的維修費用。自動連續(xù)運行,能耗小,噪聲低,結(jié)構(gòu)簡單,維修方便。
本機操作簡單、易懂、易學,一般工作人員經(jīng)過短時間的學習,即可掌握整個運行操作過程。
• 全自動交鑰匙設(shè)備
• 高效率批量混合系統(tǒng)
• 高精度給料機
• 不銹鋼AISI 304(或AISI 316)罐體
• 真空吸料機 – 無揚塵,清潔友好的操作環(huán)境
• 多種可選配置可供選擇、靈活運用
• 充分溶解干粉,為用戶節(jié)約粉料成本
二、供貨范圍
本配制機組包含干粉貯槽、干粉進料系統(tǒng)、潤濕設(shè)備、攪拌器、配制槽、給水入口裝置、電控箱控制盤、及所有必備之控制元件與閥類配件等。
三、結(jié)構(gòu)
三個槽各有一部攪拌機,并裝置一套粉體輸送設(shè)備,一個單元控制盤,三個活動式的探視孔、溢流裝置,排放和輸出口接頭,且包括所有必須的控制組件及閥類配件(如壓力開關(guān)、壓力計、安全閥、止回閥、開關(guān)閥等)。
四、泡制程序
●將藥粉倒入供料槽
●檢視前供水管線之壓力表數(shù)值
●系統(tǒng)將可開始正式啟動運轉(zhuǎn)
●觀察在混合濕潤室內(nèi)錐壁,是否產(chǎn)生浮動水膜
●調(diào)整適當?shù)乃空{(diào)整送藥螺桿至所需之轉(zhuǎn)速
●待泡至儲存槽到達高液位后
●自動停止給水及送料桿系統(tǒng)
●直到溶液被使用至低液位時
●再次自動啟動運轉(zhuǎn)泡制
●一直連續(xù)此項循環(huán)動作……
五、工作原理
料斗中的粉狀藥劑經(jīng)定量供料裝置送入混合器中,與水進行完全混合后進入溶液箱中,混合液經(jīng)多級攪拌后形成均一濃度的溶液,最后進入貯液箱內(nèi),經(jīng)計量泵投加至加藥點。
全自動三槽式高分子聚合物調(diào)勻設(shè)備,主要由三個PP材質(zhì)制成的攪拌槽、調(diào)勻槽和儲存槽組成,三個槽各裝置有一部攪拌機,并配置一套粉體輸送設(shè)備,一個單元控制盤,三個活動式的探視孔、溢流裝置,排放和輸出口接頭,且包括所有必須的控制組件及閥類配件。
六、主要部件的結(jié)構(gòu)
本機型之組成區(qū)隔為三區(qū),第一區(qū)為反應泡制區(qū)、第二區(qū)為反應熟成區(qū),第三區(qū)為溶液儲存區(qū),每一區(qū)以隔板焊接間隔而成,并配合混合濕潤器及抗凝結(jié)加熱系統(tǒng), 以 慢速攪拌達到最佳的泡制成果。粉體溶解泡藥機主要配件如下:攪拌與調(diào)勻及成熟儲存槽、藥粉供料槽、粉體定量系統(tǒng)、給水流量計、液位系統(tǒng)、單元控制箱等 所構(gòu) 成。
應用領(lǐng)域:
• 絮凝沉淀
• 污泥脫水
• 油田驅(qū)油
• 造紙助留助濾
應用行業(yè):
• 市政給排水
• 工業(yè)水處理
• 造紙業(yè)
• 石油化工
• 其他
梯田改善農(nóng)業(yè)生產(chǎn)的基本條件,山坡地但是公社的表層土壤在建設(shè)過程中,也會改變土壤物理和化學性質(zhì),導致短期內(nèi)土壤養(yǎng)分缺乏,導致土壤肥力和作物的下降甚至生產(chǎn)好幾年了。但另一方面,由于平臺建立后,改變地形,舉行總統(tǒng)決選,控制水土流失,改善土壤顆粒結(jié)構(gòu)和微生物生存環(huán)境,更有利于土壤肥力的恢復和重建。土壤墑情與旱情管理系統(tǒng)在對土壤墑情的測定發(fā)揮著無法代替的作用,對農(nóng)業(yè)的生產(chǎn)起到一個指揮的作用。 兩種梯田土壤含水量總體上隨土層深度的增加而逐漸減小。從兩種梯田耕作層土壤水分變化看,各層土壤水分變化較為活躍,耕作層土壤水分的變化取決于地形、降雨入滲、地面蒸發(fā)、土質(zhì)、作物長勢等多種因素[7]。隨著土層深度的增加,至犁底層以下,土壤質(zhì)地較重,作物根系逐漸減少,土壤含水量的變化相對穩(wěn)定! ⊥ㄟ^土壤墑情與旱情管理系統(tǒng)的分析,水平梯田土壤水分與季節(jié)降水關(guān)系密切,含水量隨土層深度增加逐漸減少且變化趨于穩(wěn)定。而在水平梯田不同部位,土壤含水量從內(nèi)向外逐漸降低,而且隨梯田寬度的增加,變化更明顯。 相關(guān)產(chǎn)品:土壤墑情與旱情管理系統(tǒng) http://www.top17.net/yq_list/yq_343_1.html
深圳市品控科技有限公司(蘇州辦事處)擁有多年豐富專業(yè)應力測試經(jīng)驗,能迅速及時解決問題,品質(zhì)保證,價格合理,并提供應力測量服務。熱忱歡迎廣大新老客戶來電咨詢!孫向昂138-1271-5915,QQ:2624104968 |
供應TSK-32-24C應力測試儀,此應力測試儀用途廣泛,它可以是,手機應力測試儀,也是電腦主板應力測試儀,還是路由器應力測試儀,也是鋼結(jié)構(gòu)應力測試儀,主要用在電路板ICT應力測試,FCT應力測試以及電路板組裝應力測試,電路板跌落應力測試。在針對電子產(chǎn)品應力測試方面,我們專門開發(fā)了,報告軟件,該應力測試軟件,包含IPC-9704應力測試標準,也包含Intel的應力測試標準,測試完畢,一鍵自動生成報告。 我們有專門的團隊為您提供應力測試儀及應力測試服務,在購買我們的應力測試儀后,我們會針對貴公司產(chǎn)品給出建議,提供最高性價比的應力測試儀,以及推薦最適合的應變片。并提供在生產(chǎn)流水線上的應力測試改良方案。歡迎廣大新老客戶來電咨詢!孫孟孟137-1380-1964,QQ:2474371039阿克蒙德應力測試儀TSK-32-24C 應力測試系統(tǒng) 特點:1、采用模塊化方式,每個應變模塊有8個采集通道,最大可以擴展到32/64通道TSK-32-24C,含3個8通道應變片采集卡,可以進行后續(xù)擴展。2、通過USB接口連接,能夠在主機硬盤上存儲長時間的數(shù)據(jù)。3、采集信號為120/350歐姆應變片(采用不同模塊)。4、最高采樣率為10KHz(64通道同時采樣)。5、操作菜單以對話框形式,中文界面,簡單快速。6、結(jié)合國際上應變片測試標準Intel標準和IPC-9704標準,一鍵全自動生成報告,并判斷“Pass” or“ Failed”工作原理:將strain gages 的信號, 透過惠斯登電橋模塊加以平衡, 可轉(zhuǎn)換成相對應的電壓信號,透過測試儀內(nèi)部的模擬/數(shù)字電路后, 可將電壓訊號轉(zhuǎn)為數(shù)位訊號, 再由專用的軟件來擷取并分析這些訊號。
應用范圍:
玻璃應力測試儀、PCB板應力測試儀、橋梁應力測試儀、大廈應力測試儀、水庫應力測試儀,螺栓應力測試儀,鐵軌應力測試儀,起重機應力測試儀,輪船應力測試儀,鋼結(jié)構(gòu)應力測試儀
應用領(lǐng)域:
航天航空 ( 如:機翼應力測試)
大型電子制造廠 (如:PCB板、夾具等應力測試儀)
汽車工業(yè) (如:車輛振動應力測試)
實驗室 (如:應力測試系統(tǒng)研究)
計量所 (如:提供應力測試數(shù)據(jù)校準服務)
船舶行業(yè)( 如:船體鋼材在承載下的應力測試
高爐冶煉是當今煉鐵工藝中最主要的煉鐵方法。時事檢測出高爐煤氣中各組分的含量可以及時反應出爐內(nèi)狀況,指導高爐的操作,從而保證了高爐穩(wěn)定順利的運行,同時為提高產(chǎn)品質(zhì)量、產(chǎn)量起著十分重要的作用。
為了提高煉鐵的經(jīng)濟性,降低成本,國內(nèi)許多高爐噴煤工藝采用噴煙煤或參噴煙煤完成煉鐵工藝。由于煙煤揮發(fā)性和可燃性比較高,在磨煤機磨煤時,進入過多的氧氣易引起爆炸,所以在磨煤機前的熱風管道上以及磨煤機之后的布袋除塵器之后都要檢測氧的含量,若氧含量過高,則要報警。在煤粉倉中,還要檢測CO的含量,當CO含量過高時,需要及時沖氮,防止事故發(fā)生。
二、檢測工藝點及測量組份
檢測點位:制粉布袋出口、磨煤機入口、煤粉倉
檢測組份及量程范圍:CO:0—2000ppm,O2:0—10%(組份量程可選可調(diào))
分析目的:為噴煤制粉的安全生產(chǎn)提供數(shù)據(jù)指導。
聯(lián)鎖控制:本系統(tǒng)自動取樣、自動吹掃、自動排水、自動分析輸出(信號輸出 4-20MA),可通過噴煤總控室與噴煤稀釋系統(tǒng)實現(xiàn)數(shù)據(jù)聯(lián)鎖
分析儀器的選擇:電化學、磁氧、西門子
三、系統(tǒng)主要技術(shù)參數(shù)
(1)測量范圍:(組份可選)(量程可選);
(2)最大允許誤差:±0.1%F.S;
(3)分辨率:0.01%;
(4)穩(wěn)定性:零點漂移±1%FS/7d;
量程漂移±1%FS/7d;
(5)重復性:0.1%;
(6)預熱時間:10min;
(7)樣氣流量:(0.3~0.5)L/ min;
(8)樣氣接口尺寸:G1/2;
(9)電器接口尺寸:1/2NPT;
(10)工作電源:AC220V±10%,50HZ;
(11)工作環(huán)境:溫度 -5℃~+45℃;
濕度 ≤90%RH;
(12)防爆等級:ExdIICT6;(可選擇不防爆)
(13)模擬輸出:4~20mA;
(14)樣氣壓力:0.05MPa≤入口壓力≤0.1Mpa。
該儀器系統(tǒng)性表現(xiàn)在它的通用性、可擴充性、方便性。通用性表現(xiàn)在在可以測試各種類型插件?蓴U充性表現(xiàn)在能容易實現(xiàn)對插件的測試。通用性和可擴充性是彩組合式結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)的。全系統(tǒng)由測試臺和測試專用箱兩部分組成。測試臺安裝了各種通用測試電路,專用測試箱是特定綜合保護器專用接口電路。使用的方便性理通過使用計算機實現(xiàn)的。