HMDS預(yù)處理系統(tǒng)
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是至關(guān)重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),而涂膠工藝的好壞,直接影響到光刻的質(zhì)量,所以涂膠也顯得尤為必要,尤其在所刻線條比較細(xì)的時(shí)候,任何一個(gè)環(huán)節(jié)有一點(diǎn)紕漏,都可能導(dǎo)致光刻的失敗。在涂膠工藝中,所用到的光刻膠絕大多數(shù)是疏水的,而晶片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,如果在晶片表面直接涂膠的話,勢(shì)必會(huì)造成光刻膠和晶片的粘合性較差,甚至造成局部的間隙或氣泡,涂膠厚度和均勻性都受到了影響,從而影響了光刻效果和顯影。
為了解決這一問題,涂膠工藝中引入了一種化學(xué)制劑,即HMDS,它的英文全名叫Hexamethyldisilazane(HMDS),化學(xué)名稱叫六甲基二硅氮甲烷,把它涂到硅片表面后,通過加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主題的化合物,這實(shí)際上是一種表面活性劑,它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起到耦合的作用,再者,在顯影的過程中,由于它增強(qiáng)了光刻膠與基底的粘附力,從而有效地抑制刻蝕液進(jìn)入掩模與基底的側(cè)向刻蝕。 最初,人們用液態(tài)的HMDS直接涂到晶片上,然后借著晶片的高速旋轉(zhuǎn)在晶片表面形成一層HMDS膜。這樣就階段性的解決了基片和光刻膠之間的結(jié)合問題,但隨著光刻線條的越來越細(xì),膠的越來越薄,對(duì)粘附力提出了更高的要求,于是我們研制出了現(xiàn)在的HMDS預(yù)處理系統(tǒng)。
2 HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的優(yōu)越性
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)在于:
(1)預(yù)處理性能更好,由于是在經(jīng)過數(shù)次的氮?dú)庵脫Q再進(jìn)行的HMDS處理,所以不會(huì)有塵埃的干擾,再者,由于該系統(tǒng)是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝,同一個(gè)容器中進(jìn)行,晶片在容器里先經(jīng)過100℃-200℃的去水烘烤,再接著進(jìn)行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機(jī)會(huì)大大降低,所以有著更好的處理效果。
(2)處理更加均勻。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性。
(3)效率高。液態(tài)涂布是單片操作,而本系統(tǒng)一次可以處理多達(dá)多盒的晶片。
(4)更加節(jié)省藥液。實(shí)踐證明,用液態(tài)HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統(tǒng)處理多盒晶片所用藥液還多;
(5)更加環(huán)保和安全,HMDS是有毒化學(xué)藥品,人吸入后會(huì)出現(xiàn)反胃、嘔吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等,由于整個(gè)過程是在密閉的環(huán)境下完成的,所以不會(huì)有人接觸到藥液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾氣是直接由機(jī)械泵抽到尾氣處理機(jī),所以也不會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染。
3系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
整個(gè)系統(tǒng)由加熱、真空系統(tǒng)、充氮、加藥和控制模塊等5部分組成。
3.1加熱模塊
由于工藝的整個(gè)過程都需要在150℃左右的環(huán)境下進(jìn)行,所以自始至終加熱系統(tǒng)都在工作。
本系統(tǒng)采用在腔體外側(cè)加熱,采用人工智能PID調(diào)節(jié)儀實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制,調(diào)節(jié)儀控制固態(tài)繼電器的輸出,從而實(shí)現(xiàn)溫度的精確穩(wěn)定控制,測(cè)溫采用通用的高精度熱敏電阻Pt100。
3.2真空模塊
由機(jī)械泵、真空組件、真空測(cè)量等組成,主要作用是置換氣體和抽走剩余的HMDS蒸汽,不再贅述。
3.3充氮模塊
作用是在置換過程中,用氮?dú)鈦碇饾u稀釋空氣或藥液蒸汽,從而最終替換空氣或藥液蒸汽的氣氛。
主要由氮?dú)庠、控制閥和噴頭組成。
3.4加藥模塊
加藥模塊的作用是在需要的時(shí)候把藥液變成蒸汽,均勻的涂布到晶片表面。
它主要由藥液瓶,接口、控制閥和噴頭組成。
3.5控制模塊
控制模塊是本系統(tǒng)的核心模塊,它的作用是控制各個(gè)模塊的動(dòng)作和時(shí)序,完成整個(gè)工藝過程。
它主要由人機(jī)界面,CPU控制中心,控制接口和輸出部件,報(bào)警等5部分組成。
人機(jī)界面采用臺(tái)灣威綸通觸摸屏來實(shí)現(xiàn)參數(shù)、狀態(tài)等界面的顯示和參數(shù)的設(shè)定輸入。PLC采用三凌FX系列小型化PLC。
4軟件組成
整個(gè)控制軟件共分4個(gè)部分,即自動(dòng)運(yùn)行、手動(dòng)控制、參數(shù)設(shè)定、幫助。
當(dāng)按下自動(dòng)運(yùn)行鍵后,畫面轉(zhuǎn)換到運(yùn)行畫面,顯示當(dāng)前的工藝狀態(tài),運(yùn)行時(shí)間等,同時(shí)系統(tǒng)開始運(yùn)行。
首先打開真空泵、開始抽真空、待腔內(nèi)真空度達(dá)到某高真空度(該值可預(yù)設(shè))后,開始充入氮?dú),充到達(dá)到某低真空度(該值也可預(yù)設(shè))后的再次重復(fù)抽真空、充入氮?dú)獾倪^程,達(dá)到設(shè)定的充入氮?dú)獾拇螖?shù)后再次抽真空,然后充入藥液,達(dá)到設(shè)定時(shí)間后,停止充入藥液,進(jìn)入保持階段。當(dāng)?shù)竭_(dá)設(shè)定的保持時(shí)間后,再次開始抽真空、充入氮?dú)猓螖?shù)為設(shè)定值,當(dāng)系統(tǒng)自動(dòng)工作完成后,畫面切換到結(jié)束畫面,同時(shí)給出聲光報(bào)警等待取片,在自動(dòng)工作過程中若出現(xiàn)異?牲c(diǎn)擊運(yùn)行畫面中的停止鍵,隨時(shí)終止程序的運(yùn)行。5、 HMDS-90真空系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
內(nèi)部尺寸:450X450X450
電源: AC220V,功率:3000W
真空度: 常壓到—133pa或1TORR以下
材質(zhì): 內(nèi)部SUS316電解處理 外殼SS41靜電噴涂。
管路: SUS潔凈管
層架; SUS316材質(zhì)
門內(nèi)板: 鋼化玻璃
流程控制:液晶觸摸屏(臺(tái)灣威綸通)、PLC控制(三菱),流程可編輯,可以預(yù)存5組程序。(可根客戶要求可以更改流程)
加熱方式:腔體外側(cè)加溫。 溫度:RT+10℃~ 200℃;微電腦溫度控制器,控溫
精確可靠?販鼐龋1℃,真空室溫度均勻
氮?dú)庋b置:氮?dú)膺M(jìn)入箱內(nèi)有調(diào)壓裝置,控制有自動(dòng)閥完成。
HMDS裝置:HMDS藥液進(jìn)入箱內(nèi)采用壓力差吸取瓶?jī)?nèi)HMDS方式,自動(dòng)閥控制
真空泵:抽氣速度4升\秒
工作流程:
首先打開真空泵、開始抽真空、待腔內(nèi)真空度達(dá)到某高真空度(該值可預(yù)設(shè))后,開始充入氮?dú)猓涞竭_(dá)到某低真空度(該值也可預(yù)設(shè))后的再次重復(fù)抽真空、充入氮?dú)獾倪^程,達(dá)到設(shè)定的充入氮?dú)獾拇螖?shù)后再次抽真空,然后充入藥液,達(dá)到設(shè)定時(shí)間后,停止充入藥液,進(jìn)入保持階段。當(dāng)?shù)竭_(dá)設(shè)定的保持時(shí)間后,再次開始抽真空、充入氮?dú),次?shù)為設(shè)定值,當(dāng)系統(tǒng)自動(dòng)工作完成后,畫面切換到結(jié)束畫面,同時(shí)給出聲光報(bào)警等待取片,在自動(dòng)工作過程中若出現(xiàn)異?牲c(diǎn)擊運(yùn)行畫面中的停止鍵,隨時(shí)終止程序的運(yùn)行。
用戶可以根據(jù)實(shí)際的需要選擇不同的測(cè)量單元及顯示指示,測(cè)量自選量程范圍。
測(cè)量分析成分 | 最小量程 | 最大量程 | 分析方法 | |
O2 | 氧氣 | 0 – 21,0 % | 0-25,0% | 電化學(xué)/氧化鋯/磁氧 |
CO2 | 二氧化碳 | 0 – 5,0 % | 0-20,0% | NDIR 非分散紅外傳感器 |
CO | 一氧化碳 | 0 – 200 ppm | 0-4000ppm | NDIR 非分散紅外傳感器 |
SO2 | 二氧化硫 | 0 – 200 ppm | 0-4000ppm | NDIR 非分散紅外傳感器 |
NO | 一氧化氮 | 0 – 200 ppm | 0-4000ppm | NDIR 非分散紅外傳感器 |
NO2 | 二氧化氮 | 0 – 200 ppm | 0-4000ppm | 催化轉(zhuǎn)換成NO |
簡(jiǎn)要描述
· SWG 300-1煙氣連續(xù)分析儀主要采用NDIR非分散紅外傳感器測(cè)量原理為基礎(chǔ)分析有毒氣體成份,這些傳感器組合測(cè)量可以使SWG 300-1分析儀測(cè)量的氣體不會(huì)出現(xiàn)交叉干擾。
· 氧氣分析方法可以選擇:長(zhǎng)壽命的電化學(xué)測(cè)量單元(預(yù)計(jì)5年時(shí)間),或ZrO2氧化鋯傳感器或者順磁原理測(cè)量技術(shù)(提供給用戶選擇)
· 分析儀預(yù)備有可以預(yù)裝O2分析單元和4個(gè)NDIR 紅外傳感器氣室,適合于單獨(dú)分析CO,
CO2,NO和SO2, 紅外傳感器適合于低量程的氣體有CO,NO和SO2安裝在19” 機(jī)架上
· 可選擇一個(gè)外擴(kuò)輸入接口如變送器(4-20mA或0-10Vdc)能夠通過AUX接口輸入· SWG 300-1將被安置在一個(gè)取樣方便的采樣位置,適用于取樣到分析從采樣點(diǎn)到分析中,采樣點(diǎn)到分析儀距離越短分析的反應(yīng)時(shí)間塊,標(biāo)準(zhǔn)的加熱采樣管線10米(其他長(zhǎng)度可選),采用全程加熱管線取樣到分析儀。
· SWG 300-1分析儀數(shù)字輸出接口和8路0/4-20mA模擬輸出,測(cè)量的數(shù)據(jù)可以輸出進(jìn)行處理分析也可以通過RS485接口輸出,測(cè)量數(shù)據(jù)可以打印輸出帶時(shí)間日期和通過RS232接口輸入到PC機(jī)( MRU 32-bit Data Logger software inclusive)
· 現(xiàn)場(chǎng)實(shí)時(shí)顯示測(cè)量結(jié)果以及自診斷參數(shù)。
· SWG300設(shè)計(jì)適合于連續(xù)分析測(cè)量,自動(dòng)校準(zhǔn)零點(diǎn),依據(jù)軟件可以自由選擇設(shè)定一天至少一次。
· 220 V / 50 Hz交流電,機(jī)箱底部預(yù)留開口,用于排放冷凝水;連接煙氣采樣管線(帶自加熱功能,10米長(zhǎng))。
· SWG300使用應(yīng)該在一個(gè)干燥,干凈,溫度在+5°C 至 +45°C環(huán)境下可以長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)使用。
硬 件
所有硬件都在以小型,鋼制機(jī)箱內(nèi)(重量約90公斤,IP 54防護(hù)等級(jí),通過將儀器固定到方型輪子架子上,)
Ÿ 透明玻璃門
Ÿ 操作鍵盤,LCD顯示器(帶背光)測(cè)量數(shù)據(jù)
Ÿ 完善的煙氣分析組合系統(tǒng)包括:
Ÿ 煙氣取樣氣泵
Ÿ 冷凝水氣泵
Ÿ 冷凝水自動(dòng)排放
Ÿ 過濾器單元能夠過濾煙氣和環(huán)境氣體
Ÿ 流量計(jì)
Ÿ 三通電磁閥切換氣路,以自動(dòng)標(biāo)定零位,并抽取環(huán)境空氣沖洗傳感器
Ÿ 內(nèi)置熱敏打印機(jī)
Ÿ m-微細(xì)過濾處理器
Ÿ IR-紅外傳感器
Ÿ RS232 接口
Ÿ 8路 0/4-20mA 模擬輸出
軟 件
標(biāo)準(zhǔn)軟件。包括所有上述功能,并自動(dòng)診斷系統(tǒng)內(nèi)部狀態(tài)。
SWG 300 – 隨時(shí)進(jìn)行自我檢測(cè),并輸出相應(yīng)控制及報(bào)警信號(hào)。包括:
系統(tǒng)故障
· 帕爾帖(Peltier)冷卻器自動(dòng)控制
· 傳感器功能
· 冷凝水檢測(cè)
· 自加熱管線自動(dòng)調(diào)節(jié)
· 自動(dòng)測(cè)量和待機(jī)功能
· 打印機(jī)
· 自動(dòng)零點(diǎn)標(biāo)定
· 儲(chǔ)存數(shù)據(jù)輸出到PC ( MRU 32-bit Data Logger
技 術(shù) 參 數(shù)
| 分析參數(shù) | 傳感器類型 | 標(biāo)準(zhǔn)量程 (其它量程單獨(dú)咨詢) | 分辨率 | 精度
|
| O2 | Electrochemical cell | 0 to 21,0% | 0,1% | ± 0,2% |
| CO2 | NDIR bench 1 | 0 to 20,0% | 0,1% | ± 0.1% or ± 5% reading |
| CO | NDIR bench 2 | 0 to 200ppm 0 to 1.000ppm | 1ppm | ± 4ppm or ± 2% reading |
| SO2 | NDIR bench 3 | 0 to 200ppm 0 to 1.000ppm | 1ppm | ± 4ppm or ± 2% reading |
| NO | NDIR bench 4 | 0 to 200ppm 0 to 1.000ppm | 1ppm | ± 4ppm or ± 2% reading |
| NO2 | Catalytic conversion into NO | 0 to 200 ppm | 1ppm | ± 4ppm or ± 2% reading |
計(jì)算值: CO [mg/m3]; NOx as NO2 [mg/m3], SO2 [mg/m3],
相應(yīng)時(shí)間: 20 秒從進(jìn)入分析儀的接口開始
顯示: 液晶LCD顯示,自帶背景燈
打印機(jī): 熱敏打印機(jī),打印紙寬 58 mm
采樣氣泵境況: 內(nèi)置帕爾帖冷卻器冷卻溫度到= +5°C,
過濾器過濾粒徑小于1µ
環(huán)境溫度: +5°C 至 + 40°C,相對(duì)濕度在空氣最大95%, 非冷凝
外型尺寸: 880 x 600 x 575mm (深x寬x高)
重量: 約 90 公斤
防護(hù)等級(jí): IP 54
電源: 230Vac, 50 to 60Hz, up to 600W
信號(hào)輸出: 8 路模擬輸出, 一路信號(hào)每個(gè)氣體 4 - 20mA,
PCRS232數(shù)據(jù)輸送到PC
道閘,電動(dòng)道閘,自動(dòng)道閘,遙控道閘,智能道閘,停車場(chǎng)道閘設(shè)備,停車場(chǎng)設(shè)備,擋車器,擋車設(shè)備,柵欄道閘,慢速道閘,快速道閘,電動(dòng)擋車器, 擋車器|道閘|電動(dòng)擋車器|電動(dòng)道閘|自動(dòng)擋車器|曲臂道閘,道閘設(shè)備,自動(dòng)道閘,道閘門,泉州擋車器
泉州道閘,泉州自動(dòng)道閘,泉州擋車道閘
泉州電動(dòng)擋車器,福建擋車器|泉州道閘|福建電動(dòng)擋車器|福建電動(dòng)道閘|福建泉州自動(dòng)擋車器|福建泉州曲臂道閘,停車場(chǎng)道閘系統(tǒng),停車場(chǎng)收費(fèi)系統(tǒng),停車場(chǎng)管理系統(tǒng),福建停車場(chǎng)收費(fèi)系統(tǒng),泉州閘道,晉江道閘,南安閘道,閘機(jī)
泉州停車場(chǎng)遠(yuǎn)距離刷卡系統(tǒng),泉州停車場(chǎng)系統(tǒng),泉州車輛管理系統(tǒng)
電控功能及參數(shù)主要技術(shù)參數(shù): 工作電壓:220V±10% 工作溫度:-40゜C~80゜C 相對(duì)濕度:≤90% 負(fù)載功率:4KW 遙控接收距離:≥50米 功能簡(jiǎn)介: 數(shù)碼遙控,使用方便快捷,操作簡(jiǎn)單 四線控制,節(jié)省資源,安全地感防砸,落桿時(shí)不砸到擊人或物體,安全 到位輸出接口,可外接指示裝置,使門體更具人性化,隨時(shí)告知通行狀態(tài).
泉州道閘,晉江道閘,南安道閘,石獅道閘,惠安道閘福建泉州停車場(chǎng)道閘,停車場(chǎng)系統(tǒng),停車場(chǎng)設(shè)備銷售泉州電動(dòng)道閘,泉州自動(dòng)道閘,泉州遙控道閘,泉州道閘
該裝置主要用于PAM類的粉狀藥劑配制與投加,例如污泥脫水系統(tǒng)中投加高分子助凝劑。亦可用于PAC類的藥劑配置與投加。全自動(dòng)干粉投料機(jī)是用在水處理制程中之高分子溶液之配制與加藥。以特定濃度之高分子溶液加入廢水,以加速污泥之凝結(jié)。
絮凝劑制備系統(tǒng)即PAM制備系統(tǒng),是根據(jù)PAM的物理化學(xué)性質(zhì)量身打造的設(shè)計(jì)方案。PAM物化性質(zhì)是:易受潮,粉末遇水不易分散,需要一定的熟化時(shí)間,且散落在外界不易清理。在設(shè)計(jì)中充分考慮到PAM的特性,系統(tǒng)在制備過程中完全避免了這些不利因素:
真空吸料機(jī)進(jìn)料,進(jìn)料完全,不會(huì)散落到其他地方,實(shí)現(xiàn)無(wú)揚(yáng)塵清潔的操作環(huán)境;
水射器使PAM在預(yù)溶解時(shí)充分與水接觸,避免干粉成塊,形成難以溶解的魚眼狀,避免浪費(fèi)PAM干粉,節(jié)約處理成本;
多螺旋給料出口配有主動(dòng)防潮閥門,防止停止給料時(shí)外界濕氣與粉末長(zhǎng)期接觸而結(jié)塊。
混凝劑是常用的水處理藥劑,常見的有鐵鹽、鋁鹽等,常用的有聚合氯化鋁、硫酸鋁、三氯化鐵、硫酸亞鐵等。我們根據(jù)各類混凝劑的不同的物化性質(zhì),設(shè)計(jì)不同的方案。
給水、循環(huán)水等其它水處理系統(tǒng)干粉藥的配制與投加,也可參照選用。
一、用途與特點(diǎn)
將絮凝劑泡制成溶液,以作為化學(xué)混凝、污泥調(diào)理之用,本機(jī)適用食品、化工、造紙、染整….等工業(yè)制程中半成品及其污水、污泥處理用絮凝劑之泡制。
本產(chǎn)品為一完整套裝自動(dòng)連續(xù)式之高分子配制機(jī)組,可以高分子干粉或濃縮液配制成稀釋液以供使用,采粉狀或液態(tài)比例定量混合處理,可均勻泡制避免藥粉量的浪費(fèi)及不必要的維修費(fèi)用。自動(dòng)連續(xù)運(yùn)行,能耗小,噪聲低,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,維修方便。
本機(jī)操作簡(jiǎn)單、易懂、易學(xué),一般工作人員經(jīng)過短時(shí)間的學(xué)習(xí),即可掌握整個(gè)運(yùn)行操作過程。
• 全自動(dòng)交鑰匙設(shè)備
• 高效率批量混合系統(tǒng)
• 高精度給料機(jī)
• 不銹鋼AISI 304(或AISI 316)罐體
• 真空吸料機(jī) – 無(wú)揚(yáng)塵,清潔友好的操作環(huán)境
• 多種可選配置可供選擇、靈活運(yùn)用
• 充分溶解干粉,為用戶節(jié)約粉料成本
二、供貨范圍
本配制機(jī)組包含干粉貯槽、干粉進(jìn)料系統(tǒng)、潤(rùn)濕設(shè)備、攪拌器、配制槽、給水入口裝置、電控箱控制盤、及所有必備之控制元件與閥類配件等。
三、結(jié)構(gòu)
三個(gè)槽各有一部攪拌機(jī),并裝置一套粉體輸送設(shè)備,一個(gè)單元控制盤,三個(gè)活動(dòng)式的探視孔、溢流裝置,排放和輸出口接頭,且包括所有必須的控制組件及閥類配件(如壓力開關(guān)、壓力計(jì)、安全閥、止回閥、開關(guān)閥等)。
四、泡制程序
●將藥粉倒入供料槽
●檢視前供水管線之壓力表數(shù)值
●系統(tǒng)將可開始正式啟動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)
●觀察在混合濕潤(rùn)室內(nèi)錐壁,是否產(chǎn)生浮動(dòng)水膜
●調(diào)整適當(dāng)?shù)乃空{(diào)整送藥螺桿至所需之轉(zhuǎn)速
●待泡至儲(chǔ)存槽到達(dá)高液位后
●自動(dòng)停止給水及送料桿系統(tǒng)
●直到溶液被使用至低液位時(shí)
●再次自動(dòng)啟動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)泡制
●一直連續(xù)此項(xiàng)循環(huán)動(dòng)作……
五、工作原理
料斗中的粉狀藥劑經(jīng)定量供料裝置送入混合器中,與水進(jìn)行完全混合后進(jìn)入溶液箱中,混合液經(jīng)多級(jí)攪拌后形成均一濃度的溶液,最后進(jìn)入貯液箱內(nèi),經(jīng)計(jì)量泵投加至加藥點(diǎn)。
全自動(dòng)三槽式高分子聚合物調(diào)勻設(shè)備,主要由三個(gè)PP材質(zhì)制成的攪拌槽、調(diào)勻槽和儲(chǔ)存槽組成,三個(gè)槽各裝置有一部攪拌機(jī),并配置一套粉體輸送設(shè)備,一個(gè)單元控制盤,三個(gè)活動(dòng)式的探視孔、溢流裝置,排放和輸出口接頭,且包括所有必須的控制組件及閥類配件。
六、主要部件的結(jié)構(gòu)
本機(jī)型之組成區(qū)隔為三區(qū),第一區(qū)為反應(yīng)泡制區(qū)、第二區(qū)為反應(yīng)熟成區(qū),第三區(qū)為溶液儲(chǔ)存區(qū),每一區(qū)以隔板焊接間隔而成,并配合混合濕潤(rùn)器及抗凝結(jié)加熱系統(tǒng), 以 慢速攪拌達(dá)到最佳的泡制成果。粉體溶解泡藥機(jī)主要配件如下:攪拌與調(diào)勻及成熟儲(chǔ)存槽、藥粉供料槽、粉體定量系統(tǒng)、給水流量計(jì)、液位系統(tǒng)、單元控制箱等 所構(gòu) 成。
應(yīng)用領(lǐng)域:
• 絮凝沉淀
• 污泥脫水
• 油田驅(qū)油
• 造紙助留助濾
應(yīng)用行業(yè):
• 市政給排水
• 工業(yè)水處理
• 造紙業(yè)
• 石油化工
• 其他
梯田改善農(nóng)業(yè)生產(chǎn)的基本條件,山坡地但是公社的表層土壤在建設(shè)過程中,也會(huì)改變土壤物理和化學(xué)性質(zhì),導(dǎo)致短期內(nèi)土壤養(yǎng)分缺乏,導(dǎo)致土壤肥力和作物的下降甚至生產(chǎn)好幾年了。但另一方面,由于平臺(tái)建立后,改變地形,舉行總統(tǒng)決選,控制水土流失,改善土壤顆粒結(jié)構(gòu)和微生物生存環(huán)境,更有利于土壤肥力的恢復(fù)和重建。土壤墑情與旱情管理系統(tǒng)在對(duì)土壤墑情的測(cè)定發(fā)揮著無(wú)法代替的作用,對(duì)農(nóng)業(yè)的生產(chǎn)起到一個(gè)指揮的作用。 兩種梯田土壤含水量總體上隨土層深度的增加而逐漸減小。從兩種梯田耕作層土壤水分變化看,各層土壤水分變化較為活躍,耕作層土壤水分的變化取決于地形、降雨入滲、地面蒸發(fā)、土質(zhì)、作物長(zhǎng)勢(shì)等多種因素[7]。隨著土層深度的增加,至犁底層以下,土壤質(zhì)地較重,作物根系逐漸減少,土壤含水量的變化相對(duì)穩(wěn)定! ⊥ㄟ^土壤墑情與旱情管理系統(tǒng)的分析,水平梯田土壤水分與季節(jié)降水關(guān)系密切,含水量隨土層深度增加逐漸減少且變化趨于穩(wěn)定。而在水平梯田不同部位,土壤含水量從內(nèi)向外逐漸降低,而且隨梯田寬度的增加,變化更明顯。 相關(guān)產(chǎn)品:土壤墑情與旱情管理系統(tǒng) http://www.top17.net/yq_list/yq_343_1.html
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應(yīng)用范圍:
玻璃應(yīng)力測(cè)試儀、PCB板應(yīng)力測(cè)試儀、橋梁應(yīng)力測(cè)試儀、大廈應(yīng)力測(cè)試儀、水庫(kù)應(yīng)力測(cè)試儀,螺栓應(yīng)力測(cè)試儀,鐵軌應(yīng)力測(cè)試儀,起重機(jī)應(yīng)力測(cè)試儀,輪船應(yīng)力測(cè)試儀,鋼結(jié)構(gòu)應(yīng)力測(cè)試儀
應(yīng)用領(lǐng)域:
航天航空 ( 如:機(jī)翼應(yīng)力測(cè)試)
大型電子制造廠 (如:PCB板、夾具等應(yīng)力測(cè)試儀)
汽車工業(yè) (如:車輛振動(dòng)應(yīng)力測(cè)試)
實(shí)驗(yàn)室 (如:應(yīng)力測(cè)試系統(tǒng)研究)
計(jì)量所 (如:提供應(yīng)力測(cè)試數(shù)據(jù)校準(zhǔn)服務(wù))
船舶行業(yè)( 如:船體鋼材在承載下的應(yīng)力測(cè)試
高爐冶煉是當(dāng)今煉鐵工藝中最主要的煉鐵方法。時(shí)事檢測(cè)出高爐煤氣中各組分的含量可以及時(shí)反應(yīng)出爐內(nèi)狀況,指導(dǎo)高爐的操作,從而保證了高爐穩(wěn)定順利的運(yùn)行,同時(shí)為提高產(chǎn)品質(zhì)量、產(chǎn)量起著十分重要的作用。
為了提高煉鐵的經(jīng)濟(jì)性,降低成本,國(guó)內(nèi)許多高爐噴煤工藝采用噴煙煤或參噴煙煤完成煉鐵工藝。由于煙煤揮發(fā)性和可燃性比較高,在磨煤機(jī)磨煤時(shí),進(jìn)入過多的氧氣易引起爆炸,所以在磨煤機(jī)前的熱風(fēng)管道上以及磨煤機(jī)之后的布袋除塵器之后都要檢測(cè)氧的含量,若氧含量過高,則要報(bào)警。在煤粉倉(cāng)中,還要檢測(cè)CO的含量,當(dāng)CO含量過高時(shí),需要及時(shí)沖氮,防止事故發(fā)生。
二、檢測(cè)工藝點(diǎn)及測(cè)量組份
檢測(cè)點(diǎn)位:制粉布袋出口、磨煤機(jī)入口、煤粉倉(cāng)
檢測(cè)組份及量程范圍:CO:0—2000ppm,O2:0—10%(組份量程可選可調(diào))
分析目的:為噴煤制粉的安全生產(chǎn)提供數(shù)據(jù)指導(dǎo)。
聯(lián)鎖控制:本系統(tǒng)自動(dòng)取樣、自動(dòng)吹掃、自動(dòng)排水、自動(dòng)分析輸出(信號(hào)輸出 4-20MA),可通過噴煤總控室與噴煤稀釋系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)聯(lián)鎖
分析儀器的選擇:電化學(xué)、磁氧、西門子
三、系統(tǒng)主要技術(shù)參數(shù)
(1)測(cè)量范圍:(組份可選)(量程可選);
(2)最大允許誤差:±0.1%F.S;
(3)分辨率:0.01%;
(4)穩(wěn)定性:零點(diǎn)漂移±1%FS/7d;
量程漂移±1%FS/7d;
(5)重復(fù)性:0.1%;
(6)預(yù)熱時(shí)間:10min;
(7)樣氣流量:(0.3~0.5)L/ min;
(8)樣氣接口尺寸:G1/2;
(9)電器接口尺寸:1/2NPT;
(10)工作電源:AC220V±10%,50HZ;
(11)工作環(huán)境:溫度 -5℃~+45℃;
濕度 ≤90%RH;
(12)防爆等級(jí):ExdIICT6;(可選擇不防爆)
(13)模擬輸出:4~20mA;
(14)樣氣壓力:0.05MPa≤入口壓力≤0.1Mpa。
該儀器系統(tǒng)性表現(xiàn)在它的通用性、可擴(kuò)充性、方便性。通用性表現(xiàn)在在可以測(cè)試各種類型插件。可擴(kuò)充性表現(xiàn)在能容易實(shí)現(xiàn)對(duì)插件的測(cè)試。通用性和可擴(kuò)充性是彩組合式結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)的。全系統(tǒng)由測(cè)試臺(tái)和測(cè)試專用箱兩部分組成。測(cè)試臺(tái)安裝了各種通用測(cè)試電路,專用測(cè)試箱是特定綜合保護(hù)器專用接口電路。使用的方便性理通過使用計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)的。