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1、 低溫探針臺(tái)工作原理：低溫探針臺(tái)可用來測試芯片、晶圓片和封裝器件應(yīng)用領(lǐng)域包括半導(dǎo)體、mems、超導(dǎo)、鐵電子學(xué)、材料科學(xué)以及物理和光學(xué)等探針可以施加直流、低頻信號(hào)或微波信號(hào)等（可選一到八探針）高效率連續(xù)流低溫恒溫系統(tǒng)使用液氦或者液氮可使溫度控制在3k到475k（可選600k）各類無制冷劑制冷系統(tǒng)（basetemperature:5k,8k,10k等）可施加各類磁場（永磁體、電磁體和超導(dǎo)磁體）

lcs-4000系列分析探針臺(tái)配有激光切割系統(tǒng)帶有集成激光切割系統(tǒng)的lcs-4000探針臺(tái)為用戶提供了半導(dǎo)體診斷切割，失效分析，修整，標(biāo)記和頂層去除的最大靈活性。所有這些功能都可以在微觀層面上進(jìn)行，所有這些都在這一系統(tǒng)上進(jìn)行，這提供了非常易于使用的高水平性能。

microxact的半自動(dòng)探針臺(tái)提供多種選擇，包括加熱/冷卻晶圓卡盤，標(biāo)準(zhǔn)或數(shù)字顯微鏡以及可編程平臺(tái)分度，為您的所有高效設(shè)備表征提供經(jīng)濟(jì)高效且易于使用的解決方案。晶圓級可靠性測試需求。這些半自動(dòng)探針臺(tái)有三種選擇（標(biāo)準(zhǔn)，高精度和高速）。光滑的粉末涂層鋼板可容納多達(dá)10個(gè)磁性或真空定位器

sps 2600-hp，sps 2800-hp和sps 12000-hp系列系統(tǒng)是microxact的半自動(dòng)探針臺(tái)，設(shè)計(jì)靈活，易于使用，可用于高效設(shè)備表征，晶圓級可靠性測試和故障分析。這些半自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于支持最多200mm晶圓的手動(dòng)和半自動(dòng)探測。

隨著半導(dǎo)體變得越來越小和越來越復(fù)雜，有必要更密切地監(jiān)控和控制生產(chǎn)，特別是在該過程的更上游。使用microxact的半自動(dòng)探針臺(tái)進(jìn)行的晶圓級可靠性測試通過一系列壓力測試收集數(shù)據(jù)，以識(shí)別可能影響器件長期可靠性的不規(guī)則性。盡管并非總是需要，但在晶片級可靠性測試之后可以進(jìn)行進(jìn)一步的和廣泛的故障分析。

sps-1000，sps-2000和sps-2200系統(tǒng)是microxact首要的手動(dòng)探針臺(tái)，設(shè)計(jì)靈活且易于使用。這些手動(dòng)探針系統(tǒng)的高性能和經(jīng)濟(jì)性使它們屬于自己的一類。憑借高達(dá)200mm的晶圓功能，dc或rf探頭和可選的熱卡盤以及各種屏蔽選項(xiàng)，我們的探針臺(tái)可用于廣泛的應(yīng)用，例如故障分析，可靠性測試，iv / cv測試，低目前的測試，微波和射頻表征等等。