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lcs-4000系列分析探針臺配有激光切割系統(tǒng)帶有集成激光切割系統(tǒng)的lcs-4000探針臺為用戶提供了半導(dǎo)體診斷切割，失效分析，修整，標(biāo)記和頂層去除的最大靈活性。所有這些功能都可以在微觀層面上進(jìn)行，所有這些都在這一系統(tǒng)上進(jìn)行，這提供了非常易于使用的高水平性能。

microxact的半自動探針臺提供多種選擇，包括加熱/冷卻晶圓卡盤，標(biāo)準(zhǔn)或數(shù)字顯微鏡以及可編程平臺分度，為您的所有高效設(shè)備表征提供經(jīng)濟高效且易于使用的解決方案。晶圓級可靠性測試需求。這些半自動探針臺有三種選擇（標(biāo)準(zhǔn)，高精度和高速）。光滑的粉末涂層鋼板可容納多達(dá)10個磁性或真空定位器

sps 2600-hp，sps 2800-hp和sps 12000-hp系列系統(tǒng)是microxact的半自動探針臺，設(shè)計靈活，易于使用，可用于高效設(shè)備表征，晶圓級可靠性測試和故障分析。這些半自動探針臺系統(tǒng)設(shè)計用于支持最多200mm晶圓的手動和半自動探測。

隨著半導(dǎo)體變得越來越小和越來越復(fù)雜，有必要更密切地監(jiān)控和控制生產(chǎn)，特別是在該過程的更上游。使用microxact的半自動探針臺進(jìn)行的晶圓級可靠性測試通過一系列壓力測試收集數(shù)據(jù)，以識別可能影響器件長期可靠性的不規(guī)則性。盡管并非總是需要，但在晶片級可靠性測試之后可以進(jìn)行進(jìn)一步的和廣泛的故障分析。

sps-1000，sps-2000和sps-2200系統(tǒng)是microxact首要的手動探針臺，設(shè)計靈活且易于使用。這些手動探針系統(tǒng)的高性能和經(jīng)濟性使它們屬于自己的一類。憑借高達(dá)200mm的晶圓功能，dc或rf探頭和可選的熱卡盤以及各種屏蔽選項，我們的探針臺可用于廣泛的應(yīng)用，例如故障分析，可靠性測試，iv / cv測試，低目前的測試，微波和射頻表征等等。